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半导体温控设备Chiller
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生产厂家普泰克(proteco)制冷设备技术集合了多位生物制药领域、机械设计、软件自控的专业人才,依托于浙江大学制冷研究院的技术团队支持,致力于高低温设备的研究、开发、制造、销售。
我司借鉴欧美技术,以模块化部件为平台,衍生出多款高低温设备产品,提出:“个性化温度控制解决方案”的理念!严格按照客户要求进行规划和制造,产品广泛应用于国内外科学研究和工艺开发、新能源汽车、生物技术、医药行业、航空航天、半导体、医疗技术等行业。
半导体温控设备Chiller主要用于半导体制程中对多路反应腔室的精准控温,装置由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成,采用先进的控制算法,提高了chiller的稳定性、控温精度和反应速度。在带负载的情况下控温精度可达±0.5℃,可在-20℃~85℃之间任意控温,有良好的温度稳定性。
半导体温控设备chiller由制冷,加热单元,循环,控制系统组成,全密封结构对环境友好,产品系统多,控温范围广,智能化控制软件,加热制冷速度快。
产品分为:
1.单通道系列
2.双通道系列
3.三通道系统
产品细节:
半导体温控设备chiller参数说明:
名称 | 参数 | 名称 | 参数 | 名称 | 参数 | |
1 | 单通道系列 | -20℃~+80℃ | 双通道系列 | -45℃~+40℃ | 三通道系列 | -20℃~+50℃ |
2 | 温度范围 | ±0.1℃ | 温度范围 | ±0.2℃ | 温度范围 | ±0.1℃ |
3 | 精度 | 2kw@-10℃ | 精度 | 11kw@-20℃/5kw@-40℃ | 精度 | 15kw@-10℃ |
4 | 冷却能力 | 3kw | 冷却能力 | 2kw | 冷却能力 | 2kw |
5 | 加热能力 | 20LPM@0.6MPa | 加热能力 | 17LPM@0.6MPa | 加热能力 | 30LPM@0.85MPa |
6 | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" |
7 | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C |
8 | 温度范围 | 15LPM | 温度范围 | 30LPM | 温度范围 | 30LPM |
9 | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc3/4"*2 |
10 | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa |
11 | 进口压力 | / | 进口压力 | / | 进口压力 | / |