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HTR-01 桌式4英寸快速退火炉
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生产厂家北京精科智创科技发展有限公司是一家主要是从事精密仪器设备,安全控制设备,计量检测设备,科学研究设备,3D打印及空间技术的研发和销售的 高科技公司,我们将同国内单位和高等院校合作,服务于国内和国外广大客 户,我们将提供更多优质产品,优质服务,共同开拓进取。
我们主要经营的产品有:
1、压电材料测试仪:ZJ-3型d33测量仪,ZJ-4型压电测试仪,ZJ-5型积层压电测试仪,ZJ-6型d33d/d31/d15型准静态系数测量仪
2、铁电测试仪:ZT-4A型铁电测试仪,ZT-4C型铁电测试仪,JKGT-G300高温铁电材料测量系统
3、介电测试仪:低温介电测试仪,高温介电测试仪,高低温介电测试仪
4、热电材料测试仪:热电效应测试仪
HTR-01 桌式4英寸快速退火炉
HTR-01A快速退火炉系列采用红外辐射加热技术,可实现1-10片样品同时进行,可实现4寸晶圆片吋样品快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氮化(RTN)、快速热氧化(RTO)及金属合金化等研究和生产起到重要作用。
主要应用领域:
产品特点
● 快速加热和降温: 最高可控升温速率可达50 ℃/s,特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率,特定条件下可达30 ℃/s。
● 精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温,目标温度与设定温度曲线一致性高,可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
● 适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理(氮气、氩气等)。同时,通过选配真空泵,可以在真空条件下进行退火,最高真空度可达10-5Pa。
● 配备观察窗口: 通过观察窗口,可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时,可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
● 超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统,保障仪器使用安全。
● 售后服务:,能快速反应客户售后需求。
最大样品尺寸 | 4英寸(直径20mm) |
控温范围 | RT~1200℃ |
升温速率(max) | 50℃/s |
高温段降温速率(max) | 600℃/min |
温度均匀性 | ≦1% |
控温精度 | ±0.1℃ |
气体流量 | 标配1路,可扩展至多路 |
放样管径 | Ф210mm*320mm |
放样数量 | 4-10个 |
真空度 | 真空度可以达到10-5 |
控制方式 | 支持真空、氧化、还原、惰性气体等工艺气氛,也可设置通过软件控制真空及通气时间 |