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MidiLab9000-CSI 试剂金属杂质含量在线分析
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MidiLab9000-CSI 电子级试剂金属杂质含量在线分析系统是一款用于半导体厂务及FAB产线中电子级湿化学品金属杂质含量的在线监测系统,提供电子级湿化学品“采样-传输-稀释-标曲-内标-进样-分析-报告”全流程解决方案。
“多”—集中或分布式采样点20个以上
“快”—单个样品分析和异常复测15分钟
“好”—无阀流路设计,ppt级流路本底
“省”—省人,全自动在线分析;省心,自动在线配制标曲,效率提升100%;省成本,高纯试剂用多少配多少,无需清洗配标容器,高纯试剂消耗量几乎降为0
应用于半导体分析,半导体湿电子化学品金属杂质检测