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MX61 二手奥林巴斯Olympus半导体检查显微镜
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二手奥林巴斯Olympus半导体检查显微镜MX61
显微镜
OLYMPUS MX61是一款载物台为12寸*12寸的显微镜。
中文名OLYMPUS MX61观察镜筒超宽场正像倾斜式三目镜筒载物台12寸*12寸能 耗100-120/220-240V
产品特点
半导体/FPD检查显微镜;为用户提供高效率。
MX61适用于200mm的样本,而MX61L则可适用于300mm的样本。
1、大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆全面检查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光镜,图象更锐利。
3、多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求。
4、透射和反射照明可同时使用,极大提高液晶基板观察效果。
OLYMPUS MX61L与OLYMPUS MX61的对比:
半导体/FPD检查显微镜 规格
MX61L
MX61
光学系统
UIS2光学系统(无限远校正)
机身
观察方法
明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光
反射/透射
反射/透射
照明装置
机身一体型(明视场,暗视场+1选件)
照明系统
反射照明
100 W卤素/100 W/75 W氙
透射照明
纤维光导
对焦单元
电动/手动
手动
行程
32 mm
分辨率/微调灵敏度
微调旋钮转动1周移动0.1 mm
样本高度
30 mm
物镜转换器
电动型
明视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉5孔
明暗视场微分干涉6孔
明暗视场微分干涉中心输出5孔
手动式
-
载物台
行程
8×8英寸右下手柄:
210(X)×210(Y)mm
(透射照明范围189×189 mm)
6×6英寸右下手柄:
158(X)×158(Y)mm
观察筒
广角视场
(视场数22)
倒置
双目/三目观察筒
正像
三目观察筒
超宽视场
(视场数26.5)
倒置
三目观察筒
正像
倾斜三目观察筒
附件单元
IR单元/电动载物台/自动装载
外形尺寸
509(W)×843(D)×507(H)mm
(标准组合)
重量
40 kg(标准组合)