多技术电子束光刻系统
灵活性、多功能性和 SEM 成像
![eLINE Plus 标志](https://img47.chem17.com/e896eca9769be1d44e5d64c3711f1c401a5125780d473d329cc7487a809b1dff5c0d024d6592776d.png)
这种多功能的多技术纳米光刻系统将 EBL 系统与用于定制实验和工艺的开放平台相结合。eLINE Plus 具有一系列不同的选项,是通用的纳米工程 EBL 系统。
![先锋二号标志](https://img47.chem17.com/e896eca9769be1d44e5d64c3711f1c403627286d3446274cfe99bc89ede2fd9a26e217ea388abfe5.png)
EBL-SEM 混合系统将先进的纳米光刻和分析 SEM 成像结合在一个工具中。PIONEER Two 定义了一种新型的经济型专业电子束光刻系统,适用于纳米加工和基于 SEM 的分析。
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专用电子束光刻系统
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