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MKS AX7690LAM-23 RPS MKS Revolution RPS AX7690 远程等离子源
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经销商神州科技是中国地区半导体产线电源系统服务厂商,位于江苏省扬州市维扬开发区,现有员工300人,工程师230人,模拟测试线20条,已建成完整全面的高精度,高功率:直流、射频、微波、网络匹配器、远程等离子发生器 等综合测试平台,是国家火炬计划项目《等离子电源研发,应用平台建设》承接单位。公司业务遍及亚洲,于日本、新加坡、韩国分设办事处。
神州科技为芯片产线,光伏产线,液晶面板制造产线,工业玻璃镀膜产线,LED新光源产线,以及医疗、科研真空,各类高科技产业等离子系统提供电源系统的维修,备件支持,设备租凭服务。神州团队严谨创新,高效热诚,服务世界半导体产业。
MKS Revolution RPS AX7690 远程等离子源提供半导体晶圆加工所需的高性能和清洁的反应气体源。创新的 R*evolution 是专门为“onwafer”应用设计的远程等离子体源新系列中的产品,它结合了 MKS 经现场验证的低场环形等离子体技术和强大的等离子体施加器设计,可产生超洁净的原子中性粒子或部首。
原子自由基在许多工艺中都是十分重要的,例如光刻胶去除、晶圆预清洗以及薄膜氮化和氧化。自由基通常是通过产生等离子体而产生的。然而,相关的带电粒子有时是不受欢迎的。为了避免这些不利影响,在外部产生等离子体并将自由基有效地输送到处理室。
MKS Revolution RPS AX7690 远程等离子源 反应气体发生器将石英真空室、射频电源和所有必要的控制装置集成到一个紧凑、独立的单元中,以便轻松直接安装在工具的处理室上。其结果是获得极其清洁的原子自由基源,从而在晶圆上产生所需的反应,同时大大降低了复杂性。R*evolution 远程等离子体源可提供高达 6 kW 的等离子体功率,为工艺提供高自由基流量(高达 5 slm),从而使剥离或蚀刻速率比传统微波系统快两倍。由于其效率高且成本较低,R*evolution 远程等离子体源可显着降低总体投资和工具运营成本。此外,其较小的尺寸和简单的设计有利于用户轻松安装、操作和维护。