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半导体设备专用罗茨真空泵
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东莞市普诺克真空科技有限公司是一家专业的以先进技术和超过10年真空领域老牌工程师团队组成以销售欧洲进口油式旋片真空泵、微型真空泵，并提供真空应用技术解决方案及各类真空泵配件维修和*真空系统工程设计施工，集工程项目技术服务于一体的优良企业。公司以技术、可靠的产品质量和优异的服务获得了客户的认可及好评。
所销售产品在电子、半导体工业，包装、印刷、食品工业、塑料及橡胶工业、制药工业、医院负压系统及实验室装置、物流技术、环保工程、汽车工程、木工机械等有广泛应用。并可用于真空吸塑、真空包装、真空排气、真空脱气、真空运输、真空吸引、真空搅拌、真空固定、真空蒸馏、真空分离、真空成型、真空浇铸、真空保护热处理和焊接工艺等
真空系统广泛应用于医院负压系统、制鞋工艺、机械、化工、电子、冶金、电工、印刷、纺织、平板硫化机、CNC雕刻机、半导体运用、线路板、电池、电容、变压器、自动注型、聚氨脂工艺等 公司以专业的真空应用技术、工程设计、安装调试、保养维修及*真空系统制程解决方案，为用户提供更优质与快捷的服务。 并提供非标制造负压罐、汽水分离器、PLC系统控制箱、真空泵专用消音器、配管工程等真空应用设备,并提供真空泵耗材如油雾分离器、碳精片、叶片、真空泵油、密封套件、空气过滤器、轴承、单向阀、连轴器、止回阀、机油格等
详细信息
半导体设备专用罗茨真空泵原理：
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。
半导体设备专用罗茨真空泵参数：
型号：PNK MR 9000T
额定流量（50Hz）：9000 m3/h
抽气速率：2500 l/s
极限压力：≤0.05 Pa
最大允许压差：≥5x103 mbar（≥500000 Pa）
马达频率：50 Hz
马达额定功率：18.5 Kw
连接口进气口：ISO320
连接口排气口：ISO250
转数（50HZ）：2900 PRM
重量：1550 Kg
推荐前级泵：PNK MR 2200T/PNK SP 0630
罗茨真空泵维护和保养：
1.保持泵的清洁，以利于通风散热。
2.每月至少检查一次油质情况，当发现油质明显变色、变稀、乳化等情况，应立即换油。
3.换油时，罗茨泵先运转一小时，使油温变热变稀后，在停泵并向泵内放气后再放油加油。加油时，润滑油中不得混入柴油、煤油、汽油、水等其他饱和蒸汽压较高的介质，以免影响泵的极限压力。
4.拆洗泵及泵内零件时，应使用纱布擦拭；当必须清洗时，可用丙酮或者汽油清洗，但必须注意防火安全，洗完后必须用纱布擦干后方可重新装配。
5.当发现泵有异常声响时，应立即停泵检查或与供应商联系。
罗茨真空泵是一款技术成熟的真空获得设备，与前级真空泵（常见的有旋片真空泵， 水环真空泵， 滑阀真空泵，螺杆真空泵等）配合组成泵组后，扩展了前级真空泵在较低入口压力下的工作范围，可广泛的应用于工业用途。
1.提高真空度：
按照一般经验，在配置罗茨真空泵后，系统真空度可提高1个数量级，如配备两级罗茨泵，系统真空度可进一步提高。
2.增大抽速：
罗茨泵的一对转子没有相互接触，可高速运转，因此几何尺寸较小的罗茨泵也能达到较高的抽速。选择合适的前级泵组合后，可使小抽速的前级泵实现抽除大量气体，相比相同抽速的单一前级泵，可明显降低能耗。
