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P7 探针式轮廓仪(台阶仪)
深圳市锡成科学仪器有限公司自成立以来,一直秉承诚信经营的理念,充分考虑客户的技术需求及资金预算,为广大客户推荐合适的产品及服务。
我们自研及代理的国内外多种仪器设备,已广泛应用于材料、电子、新能源、建筑、环保及化工等领域,用户涵盖各类高校、研究所、企业实验室和质检部门等。在样品制备、分析测试、材料及器件的性能表征等方面,深受用户认可。
我们将一如既往,努力为客户提供完善的实验室一站式服务。
探针式轮廓仪(台阶仪)KLA Tencor P7 /P17是UltraLite 传感器、恒力控制和超平扫描样品台结合,实现了好的测量稳定性。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机,可快速轻松地设置程式。支持2D或3D测量,可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。
探针式轮廓仪(台阶仪)技术特点
高精度2D/3D 表面形貌扫描
超大范围的单次扫描量程,无需图像拼接
纳米至1000微米台阶高度测量
粗糙度和波纹度测量
样品翘曲和曲率半径测量
2D/3D薄膜应力测量
表面缺陷检测
探针扫描
扫描载台具有单程150 mm的精确扫描范围以及大1 mm的扫描高度范围,从而保证高质量的2D和3D扫描数据。
3D成像
通过3D扫描可以得到表面的三维成像,呈现出彩色三维图像或自上而下的等高线图像。可以从中提取截面/线中的三维或二维数据。
应力分析
能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力。使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并精确测量样品翘曲,然后通过应用Stoney方程来计算应力。2D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次扫描测量,无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描,并结合θ平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。
Apex软件
Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件,增强了P-7的标准数据分析能力。 Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本地标准。 Apex还可用作报告编写平台,具有添加文本、注释和是/否合格的准则。 Apex提供八种语言的版本。
型号 | P7 | P17 |
台阶高度 | 5nm~1000μm | |
分辨率(X/Y/Z) | 0.025 µm /0.5μm /0.01 Å | |
重复性 | 4 Å(1μm台阶) | |
载力范围 | 0.03mg~50mg | |
视频 | 5MP高分辨彩色相机 | |
观察位置 | 顶视或侧视 | |
弧形校正 | 消除探针的弧形运动引起的误差 | |
单次扫描 | 150mm | 200mm |
样品台 | 150mm | 200mm |
自动化测量 | 图案识别、1000个量测序列点和序列队列功能 |