- 面议
参考价：
起订量：
Laurell WS-650 匀胶旋涂仪
- 型号
- Laurell WS-650
该企业相似产品
台阶仪，光学轮廓仪，电化学工作站，纳米压痕仪，力电联测材料试验机，介电温谱测量系统，电阻测试仪，原子力显微镜，光学显微镜
深圳市锡成科学仪器有限公司自成立以来，一直秉承诚信经营的理念，充分考虑客户的技术需求及资金预算，为广大客户推荐合适的产品及服务。
我们自研及代理的国内外多种仪器设备，已广泛应用于材料、电子、新能源、建筑、环保及化工等领域，用户涵盖各类高校、研究所、企业实验室和质检部门等。在样品制备、分析测试、材料及器件的性能表征等方面，深受用户认可。
我们将一如既往，努力为客户提供完善的实验室一站式服务。
详细信息
匀胶旋涂仪WS-650在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使胶液均匀涂覆在基片上，旋转速度及时间、胶液和基片间的粘滞系数都会影响成膜厚度，旋转过程及转动系统的稳定性对成膜质量也有较大影响。
样品尺寸：φ3~300mm
加速度：80000rpm/s（空载），30000rpm/s（负载：100mm标准晶圆）
转速：1~12000rpm，伺服电机分辨率4000P/rev
旋转方向：选配Hz型马达，旋转方向双向可调
CDA/N2气流保护技术
可选自动滴胶模块，EBR晶圆去边模块
多种托盘可选，适用各种材质的样品
匀胶旋涂仪托盘解决方案
常用真空托盘：10~150mm无需更换。
嵌入式：托盘中部做成圆形凹槽，样品可嵌入其中，以避免样品厚度过大引起气体涡流效应。
蜂窝式：适用于超薄易变形软质材料和易碎材料。
卡式托盘：适用于无法真空吸附的样品，或者两面都需要处理的样品，因为固定时需要尽量减小与托盘的接触面积，也可以使用卡式托盘，卡式托盘使用时转速不宜过高。
