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RTP-SA-12 半自动快速退火炉
- 型号
- RTP-SA-12
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接触角测量仪，等离子清洗机，半导体快速退火炉、USC干式超声波，静电消除器
东莞市晟鼎精密仪器有限公司致力于为用户提供专业的表面处理与检测整体解决方案，集研发、设计、生产、销售及产业链服务为一体的企业。
是接触角国家标准（GB/T 30693-2014）参与制定者，拥有行业内等离子实验室，与华南理工大学创建等离子技术联合实验室，并拥有10多位行业技术专家。团队成员以多年从事材料表面、电子电气、工业自动化等领域研发的博士、硕士、学士为主，本科学历以上占比50%，涵盖业内华南理工等各大高校人才，打造业界的研发团队。
是Apple、华为、小米、OPPO、京东方、富士康、比亚迪、蓝思、伯恩、兆驰、三安光电、清华大学、北京大学、复旦大学等企业及科研院校长期合作伙伴。
企业愿景：致力于为用户提供专业的表面处理与检测整体解决方案!
企业价值观：诚信 感恩 创新 专业 担当 成长 同心 拼搏
详细信息
半自动快速退火炉RTP-SA-12是在保护气氛下的半自动立式快速退火系统，可兼容4-12英寸晶圆Wafer。
半导体快速退火炉的产品优势
✅采用红外卤素灯管加热，冷却采用风冷；
✅快速PID温控，可精准控制温度升温，保证良好的重现性和温度均匀性；
✅采用平行气路进气方式，气体进出口设置在晶圆表面，避免退火过程中冷点产生，保证良好的温度均匀性；
✅大气与真空处理方式均可选择，实现进气前气体净化处理；
✅标配两组工艺气体，最多可扩展至6组工艺气体。
晟鼎精密核心产品系列有接触角测量仪、等离子清洗机、USC干式超声波除尘清洗机、离子静电消除装置、半导体快速退火炉等表面性能处理及检测仪器设备。
