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UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪
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我们的产品包括反应器/半导体设备/气柜/化学品柜制造中的部件、焊接设备、切割设备、耗材、检测设备、流体元件、五金配件等。
上海利布迪公司经营的产品和品牌包含但不限于：
流体元件：
日本富士金FUJIKIN，美国Aptech，韩国Unilok，以色列哈姆雷特HAMLET，美国Presair压力开关，以及洁净系列不锈钢管道等。
压力温度：
美国PalmerWahl 圆盘压力温度记录仪及温度计系列产品, 日本冈崎OKAZAKI超低温温度计等；
工业材料：
日本预磨钨针，专业供应用于美国世伟洛克Swagelok，美国AMI，德国欧比泰姆Orbitalum，美国眼镜蛇MK等自动焊机；V V不锈钢材料，铜合金材料，半导体耗材等；
制造与检测：
半导体设备及配件，进口自动焊机，日本ACCESS PFA焊接机，无毛刺切割机，日本Lasertec激光显微镜，美国SIGHTPIPE管焊缝光学检查内窥镜，美国鹰眼HAWKEYE内窥镜，日本奥林巴斯内窥镜，日本VCR限流垫片/孔板，英福康INFICON氦检仪等。
详细信息
UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪
UL3000 FAB ULTRA 的附加*性。
·较早地起始泄漏检查，由于HYDRO·S软件限制水蒸汽本底，使它有可能快速进入高灵敏的测量范围。
·快速抽空，由于对空气的高抽速。
·低使用成本(TCO)由于无需维护的罗茨粗抽泵。
低的运行和维护成本
维护费用低，使用寿命长:
·坚实耐用的真空系统
·加固的离子源,长达三年保修期
易于进入应用区域
·小型和坚实的结构,稳定和良好的移动性
·重心低，易搬运
·大胶轮,易于翻越障码物
典型的应用
■INFICON 检漏仪日常用于大型半导体生产中
■各种过程工艺包括:刻蚀.CVD,PVD,真空炉,离子注入，MOCVD,太阳能,FPD 等
■工艺维护后快速确认工艺的完整性和应修复的漏孔部位
■在次级生产中的真空管线和泵
■气柜和复杂的气体输送管线
■生产设施和治理
易检测大漏孔
可非常快地检测大漏孔,由于不再需要等待系统抽空。这得益于:
■大漏检测功能(专用的泵/阀组功能)
UL3000 Fab 可移动式英福康氦气检漏仪
您的泄漏检测解决方案专家
INFICON可为高度专业化行业中要求极为苛刻的真空过程提供权球岭先的测量和传感器技术及过程管理服务。特别是在制冷和空调技术,半导体制造和汽车生产等领域，INFICON的气体泄漏检测产品有着广泛应用。
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