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CTCO 晶圆烘箱
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爱义信工业科技（上海）有限责任公司（AIYIXIN industrial technology Co. , Ltd.）是一家集生产、销售、服务于一体的环境试验箱、工业级烘箱与防潮箱产品及提供环境温湿度管理专业解决方案的优秀供应商，一直致力于工业级温湿度控管设备的设计、研发与生产，凭借先进的温湿度控制技术与完善的售后服务体系赢得了业内众多用户好评，产品远销日本、欧美，东南亚等十几个国家和地区。
公司技术团队由一批多年从事热工、真空、构造、电控等行业的专业工程技术人员构成，拥有独立的研发和设计能力。且公司会持续投入研发资金，并吸收国内外的技术经验，以保持行业的技术。
公司以“存爱 从义 守信 ”为企业文化，本着“诚信为本，服务至上”的经营宗旨，“以质量求生存，以创新求发展”的经营理念，不断进行产品的技术创新和品质提升，完善售后服务体系，以高质量、高效率、高标准的产品和服务来满足客户需求。
详细信息
晶圆烘箱外观结构：
★外壳采用A3冷轧钢板裁剪、打磨、酸洗、磷化等表面防锈处理后烤漆，工作室采用SUS304#洁净不锈钢板满焊、耐高温密封处理
★工作室内百级，采用进口 H14耐高温高效过滤器，过滤率0.3μm粒子99.995％以上
★隔热层采用120mm厚100K高密度硅酸铝纤维保温材料，表面温度＜45℃
★门框密封采用无氟硅橡胶密封条，耐高温，抗老化
★隔板可调整高度及增减数量
晶圆烘箱风路系统：
★采用密封内循环风路，减少氮气消耗
★采用倒U型风道结构设计，箱内两侧单向水平送风，风道仓内强压送风
★特殊可调导风板设计，保障工作室内送风均匀
★大功率三相异步耐高温长轴马达，不锈钢涡轮扇叶（出厂动平衡调整）结合不锈钢蜗牛壳结构结合两侧不锈钢冲孔风板，风力强劲，送风均匀，平稳，工作噪音<65dB
温控系统：
★不锈钢无尘加热器，洁净无尘
★PLC+7寸彩色触摸屏，HMI人机交互系统，中文操作界面，全自动程序运行模式， PID智能演算，自动恒温，超温保护，传感器断线保护，断电记忆功能，带氧含量、温度值，工作状态（排氧、维持、加热、电磁阀、及故障等）监控界面、程序设定界面、历史曲线界面、历史数据功能，可通过USB导出数据，搭配PC端温度数据处理软件
★采用导轨式智能AI温度控制模块，控温精度0.1级，自动恒温，智能PID演算，带30段程序升温，带传感器断线警报，AT自整定，超温控制，断电记忆功能，控温准，稳定性好
★高精度PT100不锈钢铠装铂金电阻温度传感器
安全系统：
★按键锁
★超温保护
★电流过载保护
★漏电保护
★接地保护
规格参数：
| 设备型号 Model | CTCO-180(A/B) | CTCO-270(A/B) | CTCO-480(A/B) |
| 控温范围 Operating Temp. Range | RT+10~350℃ | ||
| 温度分辨率 Temperature resolution | 0.1℃ | ||
| 温度波动度 Control stability | ±0.5℃ | ||
| 温度均匀度 Temperature uniformity | ±1.5℃（ａｔ100℃ 恒温空载状态下） ±2.5℃（ａｔ200℃ 恒温空载状态下） ±3.5℃（ａｔ300℃ 恒温空载状态下） ±5.0℃（ａｔ350℃ 恒温空载状态下） | ||
| 洁净度 Cleanliness | 百级 Class100/ 千级 class1000 | ||
| 高效过滤器 HEPA | H14耐高温高效过滤器，过滤率0.3μm粒子99.995％以上 | ||
| 氧含量 Oxygen content | <20ppm | ||
