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反射/透射 写真化学膜厚测量装置
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代理商上海首立智慧科技有限公司成立于2023年,是集科、工、贸于一体的综合性实业公司。
目前在国内有工业试剂的生产和实验室成套设备两大业务.实验室方面 ,本公司是 日本电色Nippon Denshoku, HORIBA堀场,王子计测OSI,ETAC、银宗,ATAC等实验室设备代理商经销商和服务承包商。
主营:色差仪、雾度仪、浊度仪,光泽度仪,光亮度计、水质分析仪、PH计、X射线荧光光谱仪、Blue-M高温烘箱、Tenny环境试验箱、恒温恒湿箱、膜厚仪、测厚仪、摩擦试验仪、气体检测器、眼镜测试设备、微型CT、激光粒度仪、粘度计、位相差测定装置等相关实验室设备及实验室工程;为涂料实验室、RoHS实验室、彩钢实验室、电子实验室、眼镜检测实验室、LED、光学膜、石化、高校等提供实验室解决方案。
写真化学膜厚测量装置
标准型号可测量膜厚对象:
抗蚀剂厚度
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
端点检测
贴合晶片等
自动映射膜厚仪
可测量膜厚对象:
抗蚀剂厚度
贴合晶片
多孔膜
ITO
多晶硅
电池电极
玻璃粘合晶片
带图案晶片等
分为:标准型号、红外透射式型号、自动映射膜厚仪、成像膜厚仪
写真化学膜厚测量装置
通用型膜厚监视器(标准型号)
● 可用作端点监视器
● 也可以对应粘接剂层、玻璃层等通常较难测量的材料
通用型膜厚监视器(红外透射式型号)
● 对应反射弱的薄膜材料
● 可对应卷对卷测量
自动映射膜厚仪
● 除了高速自动映射、等高线、3D图显示之外,还自动解析直方图等统计信息
● 标准对应φ100~300mm的圆形晶圆,也可对应方形被测物等特殊形状,可选配定制载物台板
● 可对应选配项目中的自动校准
成像膜厚仪
● 微细二维膜厚分布原位的可视化
● 通过在GUI上区域,计算微小区域的膜厚