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XPS-7II NF3 NEW-COSMOS新宇宙 便携式半导体气体检测仪
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NEW-COSMOS新宇宙 便携式半导体气体检测仪
用于检测半导体工厂中半导体材料气体的泄漏
世界上很小的便携式气体检测仪,用于 NF3 检测。无需任何可选设备即可检测 NF3。
校准后的气体传感器单元可在现场更换,减少维护工作。
大液晶屏
2路电源:干电池和交流电源(可选)
小巧轻便
警报声音的速度根据气体浓度而变化。
NEW-COSMOS新宇宙 便携式半导体气体检测仪
检测原理 | 电化学、电化学+裂解器 |
目标气体 | 半导体气体 |
取样方法 | 萃取 |
测量范围 | 根据交货规格 |
精度 *1 | ±10%F.S. XDS-7NF 除外 -30%F.S. 至 +10%F.S. XDS-7NF |
响应时间 *1 | T60:少于 60 秒 |
显示 | 液晶屏上的四位数 |
电源 | 碱性AA电池x 4节或专用100-240VAC / 6VDC适配器(可选)*3 |
连续运行时间*2 | 超过 12 小时(XDS-7NF 除外) XDS-8NF 超过 7 小时(使用碱性 AA 电池 (东芝 LR6AN)在 20°C 下,无气体报警) |
工作温度和湿度 | 0 至 +40ºC, 30 至 85%RH |
合规 | CE (EMC: 2014/30/EU) *3 *4 |
尺寸 | 约 W62 × H150 × D128 mm(不包括突起) |
质量 | 约 1.3 千克 |
*1.在相同的条件下。
*阿拉伯数字。工作时间(电池寿命)可能因环境和使用条件、存储期限、电池制造商等而异*
2。交流电源适配器不符合CE标志。
*3.有两种类型的EC-4传感器储存器,全球和国内(在日本使用)。全局类型带有 CE 标记。
氨[NH3],硅烷[SiH4],二氯硅烷[SiH2Cl2],砷烷[AsH3],膦[PH3],[B2H6],硒化氢【H2Se】,锗烷【GeH4】,氯[Cl2],【ClF3],氯化氢【HCI】,氢氟化物【HF],溴化氢【HBr】,一氧化氮【NO】,硫化氢【H2S】,一氧化碳【CO】,二硅烷【Si2H6】,氟【F2】,臭氧【O3】,三氟化氮【NO3】
半导体气体检测仪PS-7
气体检漏仪XP-703DIII