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Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪
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详细信息
由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪是非接触式和非破坏性的，因此可以在不损坏样品的情况下快速方便地进行测量。广泛用于研发和在线质量控制中的薄膜厚度测量。高精度、高稳定性
Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪特点
可以非接触、非破坏性方式测量薄膜厚度
厚度范围从 10 nm 到 1000 μm，多可测量三层
不仅能测量薄膜厚度，还能测量光学乘数（n、k）(多达 3 个总参数）
支持微小点测量
还可测量滤光片颜料膜厚
Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪测量原理
假设在折射率为 n2 的基底上有一层厚度为 d、折射率为 n1 的薄膜，如图所示。 考虑从空气（折射率 n0）入射到薄膜上的光线。 光在美丽的路径上被反射，在穿过薄膜并反射到基底表面的成分中，还有一个成分从薄膜中射出，可以作为反射光被捕获。 由于光是一种波，这些反射成分会相互干涉。 考虑到入射光垂直于基底入射，这种干涉的减弱和加强取决于光学膜厚度 n d（即绝对膜厚度 n 乘以厚度 d）和波长。
Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪技术规格
| 型号 | TFW-100(1) | TFW-100(2) | TFW-100(3) |
| 用途 | ITO薄膜厚度 | 一般膜厚用 | 滤光片膜厚 |
| 膜厚范围 | 10nm～500nm(C/F) | 150nm～1.5μm(C/F) | 500nm～10μm(C/F) |
| 500nm～15μm(FFT) | 1.5μm～60μm(FFT) | ||
| 测量重现性 | 0.2%～1%(取决于膜材质) | ||
| 波长范围 | 300nm～1000nm | 400nm～700nm | 900nm～1600nm |
| 光源 | Lambda Vision TFW-100分光膜厚仪12V-100W 卤素灯 | ||
| 测量软件 | TF-Lab (曲线拟合法/ FFT法) | ||
