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MODEL 1450 50KEV光斑可调节离子源
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- MODEL 1450
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仪器仪表，电子设备，机械设备，工业自动化设备，五金产品，电线电缆，金属材料，电子
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详细信息
50KEV光斑可调节离子源配备双灯丝可集成滤波器MODEL 1450
不平等离子枪离子源1450型设计特点
可调光斑尺寸≥5 μm，用于空间定义的溅射或注入 发射调节轰击提供稳定的离子电流 连续可变束能量5kV至50kV 用于光束扫描和散光校正的双八极杆 缩小光斑尺寸的预物镜扫描 灯丝不能直接对准样品，以免污染样品 客户可更换的灯丝和光束微调孔 双灯丝在灯丝寿命终止时提供操作支持 制造中使用的所有UHV兼容和抗蚀刻材料 差动泵送以最小化主室气体负载 在惰性气体和氮气范围内运行
50KEV光斑可调节离子源离子源1450型选配
用于氧气操作的氧化钍涂层铱丝 可变孔径，光斑尺寸低至1um 用于快速束脉冲的空白板 与铯、锂、钠、钾等一起操作的碱金属源 源烘箱允许产生可蒸发材料的离子 集成文氏滤波器的信号源 离子源（英文名称：Ion source）是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的部件。
离子源是一门具有广泛应用领域的学科，在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中，离子源都是十分重要的设备。
