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SO-100 荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源
- 型号
- SO-100
- 参数
- 应用领域:综合
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详细信息
荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源
HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源MODEL SO-100
High Voltage 热阴极潘宁离子源Model SO-100 主要特点
易于操作和维护
低功耗
灯丝寿命长
近光灯发射
离子束来自惰性气体
荷兰 HIGH VOLTAGE 热阴极潘宁离子源 概述
HVEE SO-100 大电流离子源是一种热丝潘宁放电源，用于从 BF3、PF5 （PF3）、SiF4 和 AsF5 等氟化气体中产生 B+、Si+、P+ 和 As+ 等离子。来自惰性气体以及 O2 等气体的光束也很容易产生。
放电由热钨丝发射的电子和电弧电源维持，电弧电源将电子加速进入等离子体区域，在那里它们用于电离和分解原料气中的分子。螺线管产生一个磁场，该磁场由源内的软铁形成，用于限制等离子体。从等离子体边界开始，离子被提取区域的电场提取，形成低发散的离子束。
每个 SO-100 离子源都包含满足第一需求的备件。
High Voltage Engineering Europa B.V. 提供的其他类型的 pening 离子源包括：
– SO-60 型冷阴极潘宁离子源 – SO-90 型溅射潘宁离子源
