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AWL系列 半导体晶圆缺陷检测/国产晶圆搬运机
- 型号
- AWL系列
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宁波舜宇仪器有限公司是舜宇光学科技集团的全资子公司，公司设有“显微仪器”、“智能装备”、“半导体装备”三大事业部。
显微仪器事业部主要从事光学显微镜、“三化”（数码化、自动化、智能化）显微镜的研发、制造、营销和服务，产品广泛应用于科研、医疗、教学、工业等领域，并与蔡司、奥林巴斯、徕卡等保持长期的合作关系。
智能装备事业部专注于光学成像、软件与图像算法、精密机械与自动化控制等技术的研究与应用，致力于自动化检测和精密装配设备的开发与制造，广泛应用于手机产业链、车载产业链、面板产业制造等领域。
半导体装备事业部聚焦半导体量检测设备和仪器的开发与制造，产品应用于半导体和泛半导体制造领域，已与国内头部半导体企业建立合作关系，并将持续为中国半导体量检测事业贡献力量。
详细信息
AWL系列半导体晶圆缺陷检测/国产晶圆搬运机，兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查
一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。纳米级厚度的晶圆很容易在传送过程中损坏，而且还须确保在工序中晶圆表面不得有脏污、缺陷等。
SOPTOP拥有AWL046、AWL068、AWL812三种机型，多类配置，分别可适用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圆检测，适应范围广、搭配灵活 。
AWL系列半导体晶圆缺陷检测/国产晶圆搬运机可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便。
360°宏观检查
AWL系列具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查 1 的 360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度70°，晶背 1 最大倾斜角度 90°，晶背 2最大倾斜角度 160°，利用旋转功能、倾斜角度，可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。
人机工程学设计
LCD 显示屏，可为操作者提供更直观的视觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。
精密微观检查
采用专业半复消色差金相物镜，可满足明场、暗场、DIC、偏光等多种观察方式。全新电动控制系统，可排查 μm 级异常，诸如孔未开出，短路，断路，沾污，气泡，残留等。
AWL 应用领域
