MS系列高精度工具测量显微镜

结合了金相显微镜的高倍观察能力，和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。

采用优异的无限远光学系统，搭配长工作距金相物镜，配合六孔电动转换器 ，在满足大视野观测、大工作距测量需求的同时，还提供了高倍率和高精度的保障。无论是测量大型部件还是精细元件，或是表面高度差异大的样品，MS系列都能为用户提供最佳的解决方案。

功能高度集成的一体式设计

MS 既预留了台式主机的位置，又在使用者面前放置了可收起的键盘。两个方向上的手轮以及各类按钮，均符合人体工程学，使用者无需站立，便可轻松实行操作。

仰角可调观察筒

这款观察筒倾斜角在 5°至 35°之间可调。无论是站立或坐着，都能最大限度满足用户的操作需求，同时也无需担忧用户的身高差异。

大行程载物台

有多种行程的载物台可供选择 , 分别为 200mm×100mm、300mm×200mm、300 mm×300mm、400 mm×300mm。无论样品大小，均能满足用户的测量需求。若用户有特殊需求，也可按需求定制平台。

精密测量功能

采用0.1um读数的3轴测量系统，Z 轴最大行程可至150mm，利用集成在机架上的高精度电动控制器控制 Z 轴。三档不同调速可供选择，调焦可操作性强，提高效率，降低疲劳。

独立裂像光源辅助对焦

独立的裂像光源控制器，可根据样品不同背景进行光源亮度调节，清晰准确显示最佳焦面。有两种裂像图案可供选择，并随意切换。

自主研发测量软件

MS 配备了操作简单，功能强大的测量软件，客户可根据需要设置测试偏好。配合电动转换器，倍率自动识别，减少客户手动倍率选择错误。即使对复杂的形状，也可以进行高精度的测量。

MS系列高精度工具测量显微镜应用实例