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QuickOCT-4D —膜厚轮廓仪

型号
岱美仪器技术服务(上海)有限公司

高级会员5年 

代理商

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膜厚仪,轮廓仪,EVG键合机,EVG光刻机,HERZ隔震台,Microsense电容式位移传感器

岱美仪器技术服务(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面简称岱美)成立于1989年,是一间拥有多年经验的高科技设备分销商,主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持,并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今,岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港,中国大陆(上海、东莞、北京),中国台湾,泰国,菲律宾,马来西亚,越南及新加坡等地区。


岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品:

晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,请联系我们,了解我们如何开始与您之间的合作,实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。




详细信息

QuickOCT-4D™ 将单点可见光光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器与高速纳米编码的 X/Y/Z 运动控制平台相结合,可以在高达 66 kHz 的单次测量中捕获透明薄膜样品中每层的平面。QuickOCT-4D™ 穿透深度(高达 100μm)和轴向分辨率 (5nm) 针对半导体、生命科学和制药行业的多层透明薄膜、平面基板和功能层的测量进行了优化。



系统特点

· 紧凑的台式装置,带环境外壳

· 单点、非接触式、可见光、光谱域光学相干断层扫描 (SD-OCT) 传感器,测量速率高达 66 kHz

· 针对测量高反射材料上多层透明薄膜的形貌和厚度进行了优化

· 纳米编码的 X/Y/Z 运动,带有磁性直线电机和交叉滚子轴承,可在 100mm (X)、100mm (Y)、50mm (Z) 上快速光栅或螺旋扫描

· 可用于样品和托盘固定的真空吸盘

· 用户友好的 CalcuSurf-4D™ 配方生成、数据采集、表面形貌和多层薄膜分析软件允许优化测量采样密度,从而在最高通量下实现优良覆盖


SD-OCT技术概述

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