JKZC-DCHH系列高低温真空探针台

产品概要

JKZC-DCHH系列高低温真空探针台是我司自主研发的一款在环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现 器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料，半导体器件等研究方向具有广泛运用。

极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程 泵的运转。

高温无氧化测试:当晶圆加热至300°C,400°C,500°C甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越 高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。

技术特点

-防辐射屏和热沉设计；

•降温速度快，常温降至77k<25mins,大大提高测试效率；

•液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。

详细参数

搭配产品/半导体参数分析仪

我们经过近10年的发展,在测试仪器与探针台的搭配方面具备十分 丰富的经验。半导体参数分析仪方面，我们和是德科技(Keysight)、泰克(Tektronix)、概伦电子(PRIMARIUS)等公司的半导体参数分析仪有过多次搭配经验，系列型号有Keysight B1500A、Keith ley 4200A-SCS、PRIMARIUS FS-Pro等,并为用户提供半导体参数分析 仪与探针台集成测试方案和服务。

 搭配产品/矢量网络分析仪

依靠与仪器设备厂商和设备集成经销商所保持良好的合作关系，我司可为用户提供是德科技(Keysight)、中电思仪(Ceyear)等公司的网络分析仪和模块，有Keysight E5063A/E5072A/E5061B/E5080B ENA、Keysight(N522x/3x/4xB) PNA、Keysight N5290A/ N5291A、Ceyear 3762A/B/C-S、Ceyear 3671C/D/E等,各系列型号的矢量网络 分析仪和毫米波网络分析仪，涵盖不同测量频率范围、性能和功能，并 为用户提供网络分析仪与探针台集成测试方案和服务,具备丰富的测 试经验。

搭配产品/其他类型源表

在其它类型源表方面，比如tek2450,tek2600,keysight2900,普赛斯S300,铁电分析仪，各类示波器，各类电源，频谱仪等等都有多年的搭配经验。