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SC-SU-I 赛德凯斯磁控溅射仪含金靶材实验室常用设备
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北京赛德凯斯电子有限责任公司
SC-SU-I型磁控溅射仪
磁致溅射仪是应用于各种金属薄膜的溅射蒸镀仪器，在惰性气体或者活性气体中在阳极和阴极蒸发材料间加上几百伏的直流电压，使之产生辉光放电，放电中的离子碰撞到阴极的蒸发材料靶上，靶材的原子就会由其表面蒸发出来，蒸发原子被惰性气体冷却而凝结或与活性气体反应而形成纳米颗粒。
参数 | 指标 |
石英仓尺寸 | 150X120MM |
样品台尺寸 | 70mm |
溅射面积 | 50mm |
MAX真空度 | 5pa |
可通气体 | 氩气，氮气等惰性气体 |
MAX溅射速度 | 8nm/min |
整机功率 | 200W |
机器尺寸 | 360(W)X310(D)X150mm(H) |
