观察装置 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 | 程控动力刀塔1x、2x、6x、(数字变倍12x)系列 |
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机身外部尺寸(宽x深x高)(毫米) | 930 x 866 x 1047(不含突出物/不含专用安装支架) | 930 x 866 x 1047(不含突出物/不含专用安装支架) | 930 x 866 x 1047(不含突出物/不含专用安装支架) | 930 x 866 x 1047(不含突出物/不含专用安装支架) | 1426 x 1118 x 1381(不含突出物/不含专用安装支架) | 1426 x 1118 x 1381(不含突出物/不含专用安装支架) | 1426 x 1118 x 1381(不含突出物/不含专用安装支架) | 1426 x 1118 x 1381(不含突出物/不含专用安装支架) | 1994 x 1400 x 1572(不含突出物/不含专用安装支架) | 1994 x 1400 x 1572(不含突出物/不含专用安装支架) | 1994 x 1400 x 1572(不含突出物/不含专用安装支架) | 1994 x 1400 x 1572(不含突出物/不含专用安装支架) |
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其他的 | 测量范围(X 轴 x Y 轴 x Z 轴)(接触式探头):234 x 200 x 200 mm标尺分辨率:0.1 μm | 测量范围(X 轴 x Y 轴 x Z 轴)(接触式探头):234 x 200 x 200 mm标尺分辨率:0.1 μm | 测量范围(X轴x Y轴x Z轴)(接触式探头):234 x 200 x 200mm 光栅尺分辨率:0.1 μm配备跟踪自动对焦装置激光自动对焦重复精度:σ≤0.8 | 测量范围(X轴x Y轴x Z轴)(接触式探头):234 x 200 x 200mm 光栅尺分辨率:0.1 μm配备跟踪自动对焦装置激光自动对焦重复精度:σ≤0.8 | 测量范围(X 轴 x Y 轴 x Z 轴)(接触式探头):334 x 400 x 250 mm标尺分辨率:0.1 μm | 测量范围(X 轴 x Y 轴 x Z 轴)(接触式探头):334 x 400 x 250 mm标尺分辨率:0.1 μm | 测量范围(X 轴 x Y 轴 x Z 轴)(接触式探头):334 x 400 x 250 mm标尺分辨率:0.1 ㎛配备跟踪自动对焦装置激光自动对焦重复精度:σ≤0.8 ㎛ | 测量范围(图像接触式探头通用):334 x 400 x 250 mm标尺分辨率:0.1 ㎛配备跟踪自动对焦装置激光自动对焦重复精度:σ≤0.8 ㎛ | 测量范围(图像接触式探头通用):534 x 650 x 250 mm标尺分辨率:0.1 μm | 测量范围(图像接触式探头通用):534 x 650 x 250 mm标尺分辨率:0.1 μm | 测量范围(图像接触式探头通用):534 x 650 x 250 mm标尺分辨率:0.1 ㎛配备跟踪自动对焦装置激光自动对焦重复精度:σ≤0.8 ㎛ | 测量范围(图像接触式探头通用):534 x 650 x 250 mm标尺分辨率:0.1 ㎛配备跟踪自动对焦装置激光自动对焦重复精度:σ≤0.8 ㎛ |
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