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薄膜厚度测量系统TF200
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详细信息
产品简介：TF200 薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200 薄 膜厚度测量系统根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围 1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于 100nm 以上的薄膜，还可以测量n 和k 值。
| 产品名称 | TF200 薄膜厚度测量系统 | |||
| 产品型号 | TF200-VIS | TF200-EXR | TF200-DUV | TF200-XNIR |
| 主要特点 | 快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高 | |||
|
应用领域 | 半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、 MEMS ，SOI 等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、 聚亚酰胺 ITO 等) LED (SiO2 、光刻胶 ITO 等） 触摸屏(ITO AR Coating 反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、 Hard Coating DLC 等） | |||
|
| 医学（聚对二甲苯涂层球囊/壁厚药膜等） | |||
| 波长范围 | 380-1050nm | 380-1700nm | 190-1100nm | 900-1700nm |
| 厚度范围 | 50nm-40um | 50nm-300um | 1nm-30um | 10um-3mm |
| 准确度（取决于材 料0.4%或 2nm 之间 取较大者） |
2nm |
2nm |
1nm |
10nm |
| 精度 | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm | 3nm |
| 入射角 | 90° | 90° | 90° | 90° |
| 样品材料 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 | 透明或半透明 |
| 测量模式 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 | 反射/透射 |
| 光斑尺寸（可选微 光斑附件。） | 2mm | 2mm | 2mm | 2mm |
| 是否能在线 | 是 | 是 | 是 | 是 |
| 扫描选择 | XY 可选 | XY 可选 | XY 可选 | XY 可选 |
