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D-flux 大流量多气体测量质量流量计及流量控制器
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
D-flux 系列大流量多气体测量质量流量计及流量控制器，是瑞士vogtlin（福特林）公司最新研发的一款高精度大流量质量流量计，该流量计及控制器可同时测量质量、体积和标准流量、压力和温度。这种流量计集成了多种气体参数可是轻松切换测量模式，而不会降低精度。最大量程可达：1400L/min；可通过蓝牙连接手机及电脑进行通讯控制。
产品特点：
l 大流量：该装置有 4 个量程（0-500、0-700、0-1000 和 0-1400 ln/min）。
高精度：用户可以将每个量程减少 30%，而不会降低任何精度（空气、其他气体的速率取决于转换系数）
l 多种预编程气体：d-flux 系列质量流量仪表最多可包含 15 种编程气体；并且可随时添加更多气体
l 多种通讯可选：标准通讯为Modbus通信+模拟输出，Profinet、EtherCAT可选。
l 防护等级： d-flux 流量计和控制器适用于高达 14 bar A 和 -20 至 60 °C 的温度；身采用不锈钢316L，防护等级为IP54。
l 通过免费的 Vögtlin Connect 应用程序访问无线设备
l Vögtlin Connect应用程序可以与任何Android手机一起使用，让您轻松安全地（密码保护）连接到您的d·flux设备。
D-flux 系列大流量多气体测量质量流量计及流量控制器应用：
l 生命科学-生物发酵、制药
l 露检测、汽车工业
l 真空镀膜、表面处理
l 半导体、光伏
l 氢能、锂电
l 科研
l 环保、环境检测、分析仪器
技术规格
测量范围 | ||||
标准范围( 空气/用户可调 )¹ | LFE1400 从 0-1000 Ln/min 至 0-1400 Ln/min | |||
LFE1000 从 0-700 Ln/min 到 0-1000 Ln/min | ||||
LFE700 从 0-500 Ln/min 至 0-700 Ln/min | ||||
LFE500 从 0-350 Ln/min 至 0-500 Ln/min | ||||
气体 | 最大流量 | CORE | PRIME | PRIME H2 |
空气 | 0-1400 Ln/min | ✓ | ✓ | ✓ |
N2 | 0-1400 Ln/min | ✓ | ✓ | ✓ |
Ar | 0-1240 Ln/min | ✓ | ✓ | ✓ |
He | 0-1400 Ln/min | ✓ | ✓ | |
二氧化碳 | 0-740 Ln/min | ✓ | ✓ | |
一氧化碳 | 0-1390 Ln/min | ✓ | ✓ | |
H2 | 0-2900 Ln/min | ✓ | ||
以上是为每个传感器预编程的默认气体。更多气体可作为选件添加²。 | ||||
配置 文件 | ||||
客户定义的配置文件 | 多达 15 个用户可编程配置文件配置文件是预设配置，客户可以在其中为多达 15 种不同的应用设置气体、范围、动态、累加器、工程单位和参考条件 | |||
性能数据 | ||||
准确性 | A1 Core：±用户满量程的 0.5% ±测量值的 1%。 | |||
B1 Prime：±用户满量程的0.3%±测量值的0.7%。 | ||||
B2 Prime高精度：±用户满量程的0.3%±测量值的0.5%。 | ||||
即将推出（氢气应用）： | ||||
B3 Prime H2：±用户满量程的 0.3% ±测量值的 0.7%。 | ||||
B4 Prime H2高精度：±用户满量程的0.3%±测量值的0.5%。 | ||||
用户满量程 = ～70…100%标准范围。 | ||||
介质 | 与所选材料兼容且数据可在 | |||
NIST refprop 数据库中获得的所有气体和气体混合物。 | ||||
请联系工厂了解更多信息。 | ||||
动态范围 | 固定动态：大多数气体为 1：100* VADy 动态：高达 1：1000（仅适用于流量表） 在订购过程中可以选择 VADy®® 或固定动态范围。 | |||
可以使用 Vögtlin Connect应用程序随时更改此设置。 *动态范围取决于气体和压力，较高的压力意味着较低的动态范围。 | ||||
响应时间 | 流量计：120毫秒/控制器：2000毫秒（根据SEMI标准SEMI E17-1011）* 更新时间质量流量值：10毫秒/传感器采样率：1毫秒 | |||
* 具有优化的过滤器设置。所有过滤模式和值都可以通过Vögtlin Connect应用程序或数字通信接口进行设置。 | ||||
重复性 | ±工厂满量程的0.2%（根据SEMI标准E56-0309） | |||
长期稳定性 | 常规配置 < 测量值的0.2%/年 | |||
电源 | 流量计：15-36 Vdc，（200 mA@24Vdc，稳压）/流量控制器：24 Vdc±10%，（2000mA@24Vdc，稳压） 通过 M8-4P 连接或可选的 D -sub 连接 | |||
供电（纹波峰峰值不应超过 100 mV） | ||||
我们建议本机的主体正确接地 | ||||
操作压力 | 1 至 14 bar a | |||
温度（环境/气体） | -20 至 +60 °C （-4 至 140 °F） | |||
湿度气体 | 0-95% 相对湿度（无冷凝） | |||
压力灵敏度 | prime和prime H2 传感器： <0.05%/bar 出厂满量程（空气）。 | |||
Core sensor：出厂满量程的 < 0.08% + 测量值的0.1% /bar（空气）。 | ||||
温度灵敏度 | <0.02% FFS* 每 1 °C 进气温度 @ 7 bar a 压力 | |||
*工厂满量程（设备的最大流量范围） | ||||
精度温度 | 通常± 0.5 °C（未经认证） | |||
精度 绝对压力 | <0.5% MV（未经认证） | |||
预热时间 | <2秒，实现全精度 | |||
材料 | ||||
接液部件 | 密封圈：现已上市：FKM，EPDM（仅限流量计）。EPDM（流量控制器，2023年上市）、 | |||
FFKM阀座（2023年上市）。完整的FFKM版本（应要求提供）。 | ||||
阀体：不锈钢316L（1.4404）。 | ||||
阀门（控制器）：316 （1.4401）、416 （1.4005）、430F （1.4104）。 | ||||
入口过滤器：不锈钢 316 （1.4401），紧固不锈钢 （1.4122） 或同等产品。 | ||||
A1 核心传感器：不锈钢 316Ti （1.4571），硅、金、玻璃、硅胶封装、PBT。 | ||||
30GF，陶瓷。B1 主用传感器：不锈钢 316L （1.4404）。 | ||||
B2 Prime H2 传感器：不锈钢 316L （1.4404），带金色涂层。 | ||||
电子外壳 | 粉末涂层不锈钢 | |||
集成入口过滤器 | 50微米SS316（1.4401）过滤器/不可客户更换/紧固件材料SS（1.4122） | |||
接液部件表面粗糙度 | 1.6 Ra μm 或更高（请联系工厂以获取更低的 Ra 值） | |||
集成与安装 | ||||
模拟信号输出 | 线性 4–20 mA 或客户定义（最大 20 mA）用户可选 | |||
线性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客户定义（最大 10 V） 用户可选 | ||||
mA 输出：740 欧姆最大负载电阻 电压输出：1000 欧姆最小负载电阻 | ||||
所有模拟输出均经过电隔离和保护。如果与模拟信号一起使用，则增加0.2%的FFS不确定性 | ||||
模拟信号设定值 | 线性 4–20 mA 或客户定义（最大 20 mA）用户可选 | |||
线性 0–5 VDC 或 0-10 VDC 或客户定义（最大 10 V）用户可选 | ||||
数字信号输出 | RS-485 （Modbus RTU 2线） | |||
Modbus 地址可通过外壳外部的 2 个旋转开关进行设置。 | ||||
所有Modbus设置都可以通过Vögtlin Connect应用程序进行设置。 | ||||
可选ProfiNet或EtherCAT | 带集成交换机的双端口 RJ45（易于菊花链） RJ45 LED 指示网络上的链路和活动 / 以太网速度：最大 100 Mbit | |||
ProfiNet：PROFINET IO 规范 v2.33 / PROFINET IO 设备一致性等级 B （RT） / 字节序：符合西门子 S7（大） | ||||
EtherCAT：IEC 标准 IEC61158 / 字节序：小 | ||||
Ethernet IP 将于 2023 年底上市。 | ||||
配置界面 | 蓝牙4.0（免费的Vögtlin Connect应用程序可从Google Play商店获得） | |||
输出 I/O mosfet | 通过 M8-4P 连接器提供外部截止阀或报警的开/关 | |||
触点类型：mosfet transistor | ||||
最大电压：36 Vdc，最大电流 500 mA（聚乙烯保护） | ||||
电气连接 | 9 针 D-sub 公头（电源和信号） M8-4P 连接器（集电极开路输出 + 电源） | |||
可选 2 x RJ45 （以太网/丙烯） | ||||
过程连接 | 1“ BSPP 内螺纹 （G1”） | |||
可选 1/2“ BSPP，1” 压缩接口 或 50.5mm 卡箍法兰 （ISO）（请参阅附件选项卡） | ||||
入口部分 | 如果安装了我们的标准入口过滤器/调节器，则不需要过滤器。 | |||
没有过滤器/调节器 建议使用 10 D 直管段入口 入口过滤器可在订购时取消选择 | ||||
压降 | 流量计：出厂时标准 400 mbar 满量程空气排放到大气中（带过滤器/调节器） | |||
可选：出厂时 325 mbar 满量程空气排放到大气中（无过滤器/调节器） 压降取决于工作压力（更高的压力 = 更低的压降） | ||||
欲了解更多信息，请咨询您的销售合作伙伴 | ||||
控制器：1400 ln/min （空气），所需的最小压差 < 2 bar | ||||
请联系您的销售伙伴了解其他压降要求 | ||||
安装方向 | 所有方向都可以 | |||
重量 | 流量计：3.7 千克/ 流量控制器：8.7 千克（不包括以太网和配件） | |||
安全 | ||||
生产后的测试压力 | 28 bar a | |||
最大过压传感器 | 核心传感器：28 bar a，prime和prime H2 传感器：90 bar a | |||
破裂压力 | 流量计： 100 bar a / 流量控制器： 70 bar a | |||
泄漏率 | < 1 x 10-6 毫巴升/秒 He | |||
防护等级 | 如果使用 IP54-D-sub，则达到 IP54（请参阅附件选项卡） | |||
对于可选的EtherCAT/Profinet：IP40 | ||||
认证 | ||||
EMC | IEC/EN61326-1， IEC/EN61000-6-2/4 | |||
防爆认证 | 没有 | |||
材质证书 | 将于 2023 年发布（仅适用于仪表） | |||
FDA | 将于 2023 年发布（仅适用于仪表） | |||
PED | 合规。由于该装置具有 1“ 过程连接，因此符合压力设备指令（PED）（4/3/EU） 第 2014 条第 68 款中定义的SEP | |||
RoHS / REACH | 所有组件均符合 2002/95/EC （RoHS） 和 REACH 准则 | |||
保证 | 1年，除非使用某些腐蚀性/危险气体（HCL，CL2，F2，H2S，SO2） | |||
尺寸图：
