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FR-Scanner-AIO-Mic-XY300
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岱美仪器技术服务（上海）有限公司（Dymek Company Ltd ，下面简称岱美）成立于1989年，是一间拥有多年经验的高科技设备分销商，主要为数据存储、半导体、光通讯、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了长期合作的关系。自1989年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国香港，中国大陆（上海、东莞、北京），中国台湾，泰国，菲律宾，马来西亚，越南及新加坡等地区。
岱美在中国大陆地区主要销售或提供技术支持的产品：
晶圆键合机、纳米压印设备、紫外光刻机、涂胶显影机、硅片清洗机、超薄晶圆处理设备、光学三维轮廓仪、硅穿孔TSV量测、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、主动及被动式防震台系统、应力检测仪、电容式位移传感器、定心仪等。
岱美重要合作伙伴包括有：
Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,
n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...
如有需要，请联系我们，了解我们如何开始与您之间的合作，实现您的企业或者组织机构长期发展的目标。
详细信息
产品简介：
FR-Scanner-AllInOne-Mic-XY300模块化厚度测绘系统集成了光学、电子和机械模块，可兼用于对无图形和图形薄膜（例如微图形表面、粗糙表面）进行精确测量 。
将晶圆放置在真空吸盘上（晶圆尺寸直径≤300mm）并配备反射率标准件。 由功能强大的光学模块执行测量，光斑尺寸小至几微米。电动平台提供XY方向 300 毫米的行程，在速度、精度和可重复性方面具有优秀的性能
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300提供了:
o 实时反射率光谱测量
o 薄膜厚度、光学特性、非均匀性测量、厚度测绘
o 使用集成的、USB 连接的高质量彩色相机进行成像
o 测量参数广泛统计数据
o 半自动图案对准功能用于测量周期性图形区域
o 不一样的软件功能，例如：Click2Move (萤幕点击定位量测点)、比例尺
附件：
FR-AutoFocus：100mm 长线性轴，用于自动对焦，具有两种操作模式：图像对焦（对比度）/ 反射强度
Rotation Module：旋转模块电动平台提供高的分辨率和精度
FR-FilterWheel：电动滤光轮模块带有可容纳 12 个滤光片的插槽由计算机自动控制: 滤光片尺寸：直径0.5英寸，最多6个过滤器（1英寸）
FR-AutoTurret：自动转塔由计算机控制可容纳 4 个物镜：镜头切换速度约为 1.0-3.0 秒
Lenses：长工作距离 VIS/NIR 镜头: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
反射式 UV/NIR 镜头: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump：低噪音真空泵，2.5L/min，真空度-60kPa.
Chucks：6 英吋光掩模卡盘6 英吋带参考片区域 ，多晶圆卡盘（100-300 毫米和不规则形状片），包括参考区域和暗区，用于自动基准
规格：
二维厚度图：
3D厚度图：
测量原理：
