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SRPV系列膜厚传感器
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生产厂家武汉颐光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd)是国内从事椭偏仪以及光学纳米测量设备研发、制造与销售的企业。公司由多位具有二十多年偏振光学测量经验的专家联合创办,与华中科技大学紧密合作,现有员工80%以上拥有硕士或博士学位,是椭偏光学仪器领域非常有优势的技术团队。
颐光科技注册于武汉东湖国家自主创新示范区,立足光谷,面向,为用户提供光学散射测量仪等系列产品,并提供仪器、软件、服务等综合解决方案。产品广泛应用于集成电路、半导体、光伏太阳能、平板显示、LED照明、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、光刻材料等众多领域。
颐光科技充分利用武汉地区的交通便利和人才优势,立志成为中国的光学仪器设备研发创新平台和产业化基地,立志成为企业值得信赖的合作伙伴。
一、产品概述
SRPV100光学膜厚传感器是一款应用于光伏TopCon产品Poly膜厚在线监控的传感器,紧凑集成化设计,操作简便,通过分析干涉形成的反射光谱,准确表征Poly薄膜厚度、光学常数等信息。
二、产品特点
■可覆盖微绒面和抛光面应用场景;
■对样品倾斜以及工作距离变化不敏感;
■测量精度高;
■高速测量;
■丰富的工业测量经验。
三、测量原理
薄膜上下表面反射光由于相互之间的相位差增强或者减弱,相位差取决于光的波长和光程(等于薄膜光的往返距离×折射率),透明薄膜,光程差等于波长整数倍,反射相长。
技术参数