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室温自动探针台 TZ-H-06

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北京仪光科技有限公司

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  北京仪光科技,专注显微形貌分析
  北京仪光科技有限公司是一家专门从事三维共聚焦白光干涉轮廓仪、台式扫描电镜/台阶仪/电镜原位分析、各进口及国产品牌的金相显微镜、体式显微镜、偏光显微镜、超景深显微镜、大型扫描电子显微镜、超薄切片机、清洁度分析仪、金相及岩相制样设备、显微相机、冷热台、阴极发光台、光学平台等各类型科研分析仪器。提供制样、显微观察、三维形貌分析和特殊应用检测等全套分析检测解决方案。
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  愿景:让科学研究和技术创新更便捷、更高效!
  使命:为材料用户提供准确、可靠、全面的毫米级到纳米级样品制备及微观形貌分析解决方案!


详细信息

室温自动探针台 TZ-H-06高可靠性探针台系统,主要应用在半导体/微电子, 电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点,该平台配备高精度位移台,可实现X、Y、Z、 R等方向自动调整,各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位,对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用,稳定性强,可升级扩展,操作方便是本产品的核心价值,在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。

 

室温自动探针台 TZ-H-06特征

1、标配4个探针臂,可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆;

2、显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率:0.5X~5.0X(使用1X附加物镜时), 视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦;

3、样品座采用电机驱动,可实现快速于目镜下寻找样品,调节范围:100mm*100mm*15mm*±180°。

室温自动探针台产品参数.jpg


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