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LFT1200C 450D254 大口径高温高压芯片退火管式炉
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生产厂家 合肥康帕因设备技术有限公司是应材料界老客户呼吁而成立的专业致力于材料制备、真空镀膜、真空检测、等离子清洗、镀膜等设备的研发、生产型企业。公司拥有过硬的技术团队,可在材料研究、真空检漏、真空镀膜、等离子清洗等领域为您排忧解难。
CPI 技术力量来源于材料类工业生产设备要求,以及与国外同行业间的技术合作,产品设计*,注重细节,质量可靠,售后无忧。CPI设备广泛应用于新能源材料,金属材料,磁性材料,半导体材料,陶瓷材料,电化学,薄膜材料,CVD,PECVD ,石墨烯,碳纳米管,碳纳米线,光学材料,齿科等研究领域。
CPI将工业生产设备技术要求应用于实验设备,设备性能更加稳定可靠,工艺重复性强。
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CPI企业文化:厚德载物,自强不息。以人为本,敬职敬业。
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大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸(最大尺寸为8英寸)衬底退火处理,设备采用电阻丝为加热元件,保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型,保温性能好,电阻丝为内嵌式一体成型,美观、节能;该设备还集成了真空以及供气系统,满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管,满足高温工作条件,也能满足真空或者一定的正压条件实验要求,是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。
设备型号:LFT1200C450D254
额定电压:380V
额定功率:13KW
最高温度:1000℃
额定温度:900℃
升温速率:10℃/min
热电偶类型:K型热电偶
控温精度:±1℃
极限真空度(选件):1.0×10-3Pa(机械泵+分子泵)
加热元件:OCr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)
炉管尺寸(可根据客户要求订制):内径245*600mm(含管堵)
外型尺寸(长×深×高):1900*700*2100mm