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超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机

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应用领域:综合
青岛森泉光电有限公司

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Micro-g空气隔振器

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森泉光电有限公司是专业从事光电相关领域仪器设备代理与系统集成业务的综合服务商,专注于光电产品及辅助设备的研发、生产、代理与销售。公司总部设立在美丽的海滨城市-青岛,在上海、北京设有分公司,在天津、成都等地设有办事处,业务范围涵盖国内各大高校、科研院所及众多企业,深受广大用户欢迎。


森泉光电有限公司代理和经销的产品种类十分丰富,涉及到激光、光学、光电子、光通讯、微机电、自动化、物理、化学、电子、生物、农业等等领域。目前代理品牌:

1.Newport:供应商,为科研、微电子制造、航天和防御/安全、生命和健康科学以及精密工业制造市场的客户提供技术*的产品和系统。

3.美国TMC:优质隔振设备供应商,提供光学平台、实验桌、隔振地面等,产品覆盖被动隔振与主动隔振,是行业中的。

4. 美国Siskiyou:为光电子及生命科学领域研究者提供各式各样的微操纵仪、 显微镜样品定位器、运动控制系统、光机械构造板块。

5. 美国NEWSCALE:专业超小型运动系统的you秀制造商,创造了世界上小的直线电机SQUIGGLE®超声波压电陶瓷电机以及TRACKER™定位传感器。

6. 美国Crystalaser:紧凑型二极管泵浦固态激光系统的,提供紫外光、可见光和近红外光的连续、脉冲激光器。

7. 美国Exciton:激光染料和*泵浦源发展的。提供(1)激光染料(2)荧光剂、感光剂和染料中间体(3)可饱和吸收染料(4)可见光和红外吸收染料(5)溶剂和三重态猝灭剂(6)四环庚烷。

8. 美国Isowave:*的光学材料和光学元件制造商。提供各种光隔离器。

9. 美国Arroyo:半导体激光器系统集成制造商,提供半导体激光器驱动器、温度控制器、安装座和LED夹具等。

10. 美国EO Edmund:光学、成像、光机和光子学科技主要生产商,光学零件现货供应商。服务于R&D,电子学,半导体,制药,医药市场;产品被应用于各种应用软件,从DNS测试视网膜扫描到高速工厂自动化。

11. 美国Vescent: 提供超低噪音、超高稳定性的精密激光技术解决方案,可以满足新兴冷原子领域的应用对于二极管激光系统的苛刻要求。Vescent产品可广泛应用于重力传感器、惯性传感器、磁力传感器、量子计算、量子密码、原子钟、超冷离子和电子束技术等领域。

12. 俄罗斯Avesta:超快激光器的制造者。提供各种飞秒激光器、分析仪器、放大器和部件。

13. 美国Block Engineering: 行业内专业的红外光谱仪开发生产者。提供的红外光谱仪已被美国、政府及众多机构广泛认可。

14. 美国Ocean optics: 微型光纤光谱仪的发明者,也是光传感和光谱技术解决方案提供商,拥有庞大的产品线,包括光纤光谱仪、化学传感器、光纤、薄膜和光学元件等,提供快速、专业、便捷的光谱在线解决方案。

15. 美国EOPC:高性能、低成本、长寿命的光学,等离子体和激光器件制造商。提供各种光调制器,斩波器,光闸和光扫描仪等。

16. 加拿大OZ Optics:光学产品供应商。提供各种光纤元器件,测试设备和传感器等。







详细信息

TMC气动隔振系统是追求高隔振性能的超精密仪器的工具设计师的手选解决方案。TMC现在提供行业标准的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它们有不同的承重能力、阻尼水平和调平版本可供选择,适合各种应用。

这些隔振器是OEM应用的理想选择,采用模块化、可互换和可升级的设计。此外,为了确保您定的版本能够满足您的稳定时间和隔振要求,TMC工程师可以使用我们的“移动工作台应用程序模型”为您的配置进行建模。


超高阻尼空气隔振器适用大型设备LCD光刻机

UltraDamp™隔振器

TMC现在提供更主动的阻尼UltraDamp™。适用于需要快速稳定有效载荷的高力、高速XY电动工作台的有效载荷。UltraDamp具有及高的阻尼水平,可确保空气隔振器的共振频率不会超过3-5 dB。适用于LCD、PVC检测、光刻机以及其他具有高力电动工作台的仪器。


优点:

结合了自调平Gimbal Piston™空气隔振器的优势,并具有极其主动的阻尼作用

非常适合具有机器人运动或电动工作台的有效载荷,可提供所需的隔振并主动稳定有效负载引起的运动

更快的工具吞吐量和更高的产量

从4-5 Hz开始的水平和垂直隔振

共振的最小放大(3-5 dB) 模块化设计。可升级到Electro-Damp®主动消振


性能:

比较GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™之间的阻尼水平

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