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SUPEC 2050 半导体AMC综合监测系统
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生产厂家杭州谱育科技发展有限公司(简称“谱育科技”)创立于2015年,总部位于浙江杭州,是聚光科技(杭州)股份有限公司旗下自孵化子公司,专注于重大科学仪器研发和产业化创新应用的国家高新技术企业,推动以技术创新实现分析检测及监测的现场化、自动化、智能化,实现科学仪器“中国梦”。谱育科技研发团队经过十余年的高比例研发投入及重大科学仪器研发积淀,完成了数十项国家重点研发计划专项及国家/行业标准制定工作,掌握了较完整的质谱、色谱、光谱、理化等分析检测技术及气体、液体、固体等进样前处理技术,研制了实验室分析、现场化分析(便携、在线、移动)、自动化分析等一系列技术的产品组合,在先进工业、生态环境、医疗诊断、生命科学、食品药品、应急安全等领域为全球用户提供多面化、专用化的科学分析解决方案。
SUPEC 2050半导体AMC综合监测系统由采样预处理子系统、气体监测子系统以及辅助设备和数据采集与处理子系统等构成:
采样预处理子系统:由多路样气传输管、采样泵和分布式多通道采样仪组成,可以对多个点位进行不间断实时采样,并通过管路切换实现不同采样点样气的循环监测。
气体监测子系统:由多个分析仪组成,可以根据不同的监测需求进行定制化的搭配,实现不同物质的在线监测。
辅助系统:由集成机柜和校准单元组成,可以保证整套系统的正常运行,校准单元可以定期对系统进行校准,保证监测数据的稳定和准确。
数据采集与处理子系统:可以监控查询所有测量信息和系统工作状态信息,并将监测数据传输至企业的中控平台。
性能优势
采样覆盖面广
多点位同时采样,覆盖面广,成本低,可支持200m点位监测,多点位形成网格化分析体系。
轮巡速度快
系统具备预抽功能,节约管路传输等待时间。
自由配置通道数量
系统可扩展,可自由配置采样点位数量。
样品间干扰小
具备反吹功能.确保各路样品互不影响,低残留。
样品超标留样
可搭配超标留样,系统可搭配苏玛罐留样系统,当点位污染超标时自动留样。
应用领域
半导体行业检测