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FHUV-系列 日本okksg高压汞全自动UV照射机紫外线设备
- 型号
- FHUV-系列
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详细信息
日本okksg高压汞全自动UV照射机紫外线设备 FHUV-系列 特点介绍
高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。
装入工件后，按下启动按钮，机器将全自动将工件从料库中取出，并用紫外灯照射，并存储，直到料库中的工件全部完成。
根据目标工作，您可以选择高压汞灯和金属卤化物灯。
日本okksg高压汞全自动UV照射机紫外线设备 FHUV-系列 规格参数
紧凑的机身
可以进行 10 种配方设置（速度根据设置而变化）
可使用触摸面板以 4 种方式设置功率
显示累积照射量和紫外线照射强度（仅照射期间）
可根据照射对象选择高压汞灯/金属卤化物灯
配备自动设置变更功能，可自动切换至不同尺寸
不仅可以照射切割框，还可以照射握持环。
具备判断UV照射是否完成的功能。
可用于LSI晶圆、存储器晶圆、LED晶圆、激光晶圆、传感器晶圆、功率器件晶圆等各种工艺。
尺寸宽1300×深1400×高1350（毫米）
重量约400公斤
驾驶空气0.4Mpa以上
紫外线照度200mW/cm²以上
氮气0.2Mpa以上 100L/min以上
电源交流三相200V 50/60Hz 100A
高压汞/金卤灯全自动UV照射设备是一种使用具有强辐射能的灯管的紫外线固化设备。
