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L40系列/MFES系列 日本RIX半导体行业用单口、多端口旋转接头
- 型号
- L40系列/MFES系列
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详细信息
日本RIX半导体行业用单口、多端口旋转接头 L40系列/MFES系列 特点介绍
该旋转接头是为半导体行业供应纯水和化学溶液而开发的，主回路采用非金属材料，最大限度地减少金属离子溶出到液体中。
主通道采用非金属材料，最大限度地减少金属离子洗脱到流体中。
液体
纯水、化学溶液等
该旋转接头也是针对半导体行业而开发的，在与液体接触的部件上使用非金属材料或涂层，从而可以创建一种最大限度地减少金属离子溶出到液体中的结构。
特点
可使用非金属材料或对接液部件进行涂层，以最大限度地减少金属离子溶出到流体中。
流体
纯水、空气、真空、泥浆等
日本RIX半导体行业用单口、多端口旋转接头 L40系列/MFES系列 规格参数
压力（兆帕） 转速（分-1） 端口数量
L40 1 600 1
压力（兆帕） 转速（分-1） 端口数量
MFES 1 200 2~
可使用非金属材料或对接液部件进行涂层，以最大限度地减少金属离子溶出到流体中。
流体
纯水、空气、真空、泥浆等
主通道采用非金属材料，最大限度地减少金属离子洗脱到流体中。
液体
纯水、化学溶液等
该旋转接头也是针对半导体行业而开发的，在与液体接触的部件上使用非金属材料或涂层，从而可以创建一种最大限度地减少金属离子溶出到液体中的结构。
