起订量:
JYPZT-JHX01型晶圆陶瓷高压极化设备
中级会员第9年
生产厂家北京精科智创科技发展有限公司是一家主要是从事精密仪器设备,安全控制设备,计量检测设备,科学研究设备,3D打印及空间技术的研发和销售的 高科技公司,我们将同国内单位和高等院校合作,服务于国内和国外广大客 户,我们将提供更多优质产品,优质服务,共同开拓进取。
我们主要经营的产品有:
1、压电材料测试仪:ZJ-3型d33测量仪,ZJ-4型压电测试仪,ZJ-5型积层压电测试仪,ZJ-6型d33d/d31/d15型准静态系数测量仪
2、铁电测试仪:ZT-4A型铁电测试仪,ZT-4C型铁电测试仪,JKGT-G300高温铁电材料测量系统
3、介电测试仪:低温介电测试仪,高温介电测试仪,高低温介电测试仪
4、热电材料测试仪:热电效应测试仪
JYPZT-JHX01型晶圆陶瓷高压极化设备
关键词: 晶圆,高压陶瓷,晶圆陶瓷
晶圆上布置的压电陶瓷片
半导体零部件是指在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到半导体设备及技术要求的零部件,如O型密封圈(O-Ring)、传送模块(EFEM)、射频电源(RFGen)、静电吸盘(ESC)、硅(Si)环等结构件、真空泵(Pump)、气体流量计(MFC)、精密轴承、气体喷淋头(ShowerHead)等
JYPZT-JHX01型晶圆陶瓷高压极化设备是一款能够对晶圆分布上的小微陶瓷进行极化,是目前研究晶圆及半导体器件陶瓷先进材料的重要设备。
技术特点:
1、全封闭安全结构,超高漏流直接自动断电
2、夹具设计方便安装样品
3、控温升温稳定
4、极化可以配合ZJ-3型精密D33测试仪进行测试
二、主要技术条件:
1、极化电压: (0~10)Kv
2、 总电流: DC: 20mA
4、测试时间:1~99min ±5% (连续可调)
5、测试温度:常温~180℃ ±(5%+2个字)(连续可调)
6、两电极尺寸:210´320 mm
7、外型尺寸:体积:1450(h)´960(w)´700(d) mm
8、工作条件:环境温度0~40°C。
9、相对湿度:不大于75%。
10、电源:AC: (220± ±10%)V (50±5%) Hz
11、配套设备装置:能够配合ZJ-3和ZJ-6压电测试仪进行测量
12、配套设备装置:可以配置10MM,20MM,30MM,40MM压片夹具