Alicat MCDS防腐蚀双向气体质量流量控制器

l 腐蚀性气体。 与 30 多种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料。

l 用途广泛且准确。 对于 128 种以上的气体和 20 种自定义混合物，实时控制流量或压力，具有 NIST 可追溯的精度至 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）。

l 快速，多变量。 通电后的毫秒响应时间，以您选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力，并显示瞬时流量、压力和温度读数。

l 易于集成。 定制过程端口和电气连接器，以及您选择的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中

设备规格和定制选项

快速规格

MCDS 系列性能

l 量程范围：0.5 SCCM 至 5000 SLPM

l 控制范围：满量程的 1% – 100%

l 精度，NIST 可溯源：±（读数的 0.8% + 满量程的 0.2%）

l 可选的高精度，NIST 可溯源：±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）

l 重复性：满量程的±0.2%

l 响应时间：最快 30 ms

l 预热时间：<1 s

Alicat MCDS防腐蚀双向气体质量流量控制器

MCDS 系列工作条件

l 兼容气体：多达 130 种预加载的可选气体校准； 可使用 COMPOSER™ 定义的其他混合物

l 工作温度：–10°C 至 +60°C

l 满量程工作压力：160 PSIA

l 最大压差：75 PSID

l 耐压：175 PSIA

l 用户可选择的参考条件（默认）：25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

设备范围和完整规格

设备的定制范围从 0.5 SCCM 到 5,000 SLPM ，可控范围为满量程的 1% 到 100%。

设备特点

每个设备都包含

l 多参数测量：同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。

l 用户可更改的测量单位：从我们广泛的工程单位列表中更改压力、流量或温度的测量单位。

l 气体可选性：从我们气体列表中的 98 多种预加载 NIST 可溯源气体校准中选择您的工艺气体。

l Gas Select COMPOSER™：使用我们的 Gas Select Composer™ 固件，定义多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。

l 带集成触摸板的单色背光 LCD：使用背光显示屏和控制配置以及用户友好的集成触摸板轻松读取测量值。

l 可调节设定点斜率值以及设定点范围限制：配置斜坡速率允许用户快速或慢速控制变化过程，设定点范围限制可以防止无意的设定点更改带来的影响。

l 可调节的标准温度和压力 (STP) 条件：快速更改参考条件，无需重新校准。

l 阀门开合：利用警报快速排放系统或根据需要停止所有流量。

标配 | 免费

l 流量累加器和批次控制：每 1 毫秒汇总一次质量流量，以便随着时间的推移精确跟踪总流量，并使用批次控制来分配精确的体积。

购买时的要求 |另外费用

l 可选的集成电位器控制：使用集成电位器只需转动旋钮即可调整设定点。

设备自定义选项

构建和性能选项

l 通讯协议：模拟、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS

l 显示器：背光单色或彩色； 集成或面板安装

l 过程连接：NPT, SAE, AN, BSPP/G, compression, VCR, or VCO fittings

l 接液材质：Viton, FFKM, EPDM, Silicone

l 校准：高精度； 自定义校准点

阀门选项和 PID 调节

您的质量流量控制器可以使用以下阀门选项之一进行定制，以确保在您预期的过程条件下获得更佳性能。

l MCD：用于 20 SLPM 及以下流量范围的小型比例控制阀

l 带PCA的MCD：高性能比例控制阀，用于某些具有较高压力的应用

l MCPD: 小比例控制阀(不适用于腐蚀性配置)

l MCRD：用于 50 SLPM 及以上流量的几乎无摩擦的大型 Rolamite 比例阀

注意：某些气体（包括 SO2 和 Cl2）需要带有 PCA 名称的 MCD。

定制 PID 阀门调节可确保在您的特定过程条件下发挥性能。

可选配件

配件|| 分开售卖

l 工艺端口配件和过滤器

l 电源

l 通信电缆和转换电缆

l BB3 和 BB9 多点集线盒