日本tem-tech真空绝对压力检测传感器耐腐蚀 SE1000 特点介绍

绝对压力传感器

非常适合真空容器和供气管线中的负载锁定

用于真空压力监测的绝对压力传感器

绝压：0-760、1000torr

电流/电压输出、VCR/UJR等丰富选择

气体接触部分：SUS316L

用于真空容器和供气管线的负载锁

✓适合真空容器和气体供给管路中真空压力监视

✓额定压力0~1000torr

✓小型绝对压力传感器

日本tem-tech真空绝对压力检测传感器耐腐蚀 SE1000 规格参数

⚫也可制作显示一体型

⚫隔膜是耐腐蚀性高的SUS316

⚫可使用各种接头制作

⚫可在半导体制造工序中使用

⚫标准传输信号也可输出国际标准的2线式4-20mA*电压

测量流体绝对压力测量、半导体工艺气体接触气体部材质隔膜:SUS316传感器本体:SUS316L测量范围0—1000Torr、（0—200kPaA）其他的容许极限压力额定压力的2倍电源电压DC24V±10%DC15~24V输出信号4～20mADC（2线式）0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3线式）综合精度±0.5%FS（直线性、歇斯底里包括再现性）温度补偿范围0~60°C（无结冰、结露）动作温度范围0~80°C（无结冰、结露）温度特性±0.05%FS/°C（温度补偿范围内）相当于IP55保护等级※室内规格安装螺丝VCR，UJR（请咨询其他）螺丝尺寸1/4”、3/8”、1/2”