日本tokyokeiso超声波流量计检测器控制阀 CLFC300系列 特点介绍

CLFC300系列是集成了超声波流量计检测器、控制阀以及进行流量计算和阀门控制的电路的流量控制器。

配备可速追随目标流量的控制功能，适用于半导体设备所需的各种液体的控制，如化学液体的定量供给、DIW的流量控制、浆料流体的定值控制、等等。

日本tokyokeiso超声波流量计检测器控制阀 CLFC300系列 规格参数

· 改进的可控性

我们改进了常规的计算处理，进一步提高了抗气泡性。

流量测量的稳定性也得到了提高。

· 改进的可控性

在阶跃响应性能方面，我们利用最新的运算电路实现了极快的响应，实现了1.5秒内达到设定值的控制速度。

· 两种阀门类型可供选择

我们有用于化学液体和 DIW 的针阀，以及用于浆料流体的夹管阀。

我们在夹管类型中新添加了 STA-PURE 型 PC 管。

StaPure 管非常耐用，无需更换管，而以前需要定期更换。

· 更小更轻

超声波流量计检测器、控制阀和电路装在一个小外壳内，安装在设备内部时节省空间。

结构经过重新设计，使传统产品更加紧凑。（减少 20%）

由于小型化，重量也减轻了。（下降 35%）

· 减少布线和管道

安装时，只需连接流体进出口接头并使用多芯电缆进行电气接线即可，无需复杂的配管和接线。

· 环保

减少电流消耗。（实际值减少 35%）

由符合 RoHS 的部件构成。

· 高耐腐蚀性

接液部件采用 PFA 和 PTFE 等高耐腐蚀性材料，可用于半导体行业和处理化学品的各种行业。

表壳材质也采用PVDF。