日本mitaka非接触式微透镜阵列三坐标测量机 MA系列 特点介绍

配备了NH系列的所有基本形状测量功能，可以测量透镜和模具的横截面形状，并使用专用软件一次性测量曲率和中心坐标。

可以使用高精度图像处理来评估镜片的光学特性。

评价项目：有效焦距/后焦距/透过率/焦点位置/焦深/MTF

矩阵创建软件

专用矩阵测量软件可记忆阵列模式并允许顺利自动测量。

非常适合 MLA 的研发和质量控制，MLA 的尺寸越来越细、面积越来越大。

NH显微镜部分可配备Nomarski微分干涉光学系统。

该光学系统可以直观地捕获数十埃的表面粗糙度和划痕，这是普通明场光学系统无法观察到的，并且可以使用激光探头在现场进行定量粗糙度和台阶测量。

日本mitaka非接触式微透镜阵列三坐标测量机 MA系列 规格参数

使用镜片形状测量

激光探头进行测量

- 各镜片表面的曲率半径、中心坐标值

、圆度

、顶点高度、XY坐标

、截面、三维形状测量、表面粗糙度测量

通过图像处理进行测量

・有效焦距

・后焦距、MLA有效焦距

・各镜头的对焦位置及位置偏移

・各镜头的对焦光斑尺寸

・透过率

・焦平面处的成像评价（彗形像差、畸变像差等）

-深度焦点（可选）

- MTF 测量（可选）

移动范围（X、Y、Z、AF）

100, 100, 100, 10毫米

XY轴刻度分辨率

0.1μm

AF轴刻度分辨率

0.01μm

测量原理

点自动对焦方法 ISO 25178-605

激光

λ = 635nm 输出小于 1mW