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TC Wafer 晶圆有线测温系统

型号
TC Wafer
参数
产地类别:国产 应用领域:环保,生物产业,石油,能源,综合
上海睿丹自动化仪表有限公司

中级会员5年 

生产厂家

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分析仪器,流量计,传感器,水质分析仪器,热值仪,气体检测仪

上海睿丹自动化仪表有限公司,公司集科技、工业、贸易于-一体,专注自控产业,并为各行业企业提供优质解决方案的专业企业,公司始终坚持走品牌路线、创质的服务品牌。同时依托于上海交通大学,中科院力学所、声学所、航天部等大型科研单位并与华东理工大学等高校形成长期科研合作关系,我们的承诺是:以合理的价格、过硬的质量、快捷的货期及快速的售前咨询、售中指导、售后服务,在为广大客户提供优质产品的同时让您充分感受到现代工业给您带来的方便与震撼。凭借公司的强大实力和经验丰富的专业技术队伍,睿丹公司享有直接的国外的产品代理权及进出口权:德国HBM、日本Yokogawa、美国Honeywell,美国GE,德国SIEMENS;英国Druck,加拿大BW,法国Oldham,美国Flowline,美国Dwyer,,芬兰VAISALA,英国Michell,德国CS,日本RIKEN,德国Drager等

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详细信息

TC Wafer 晶圆有线测温系统

仪表化晶圆(热电偶或RTD)适用于半导体加工设备,在这些设备中,了解和控制晶圆表面的温度至关重要。


TC Wafer晶圆有线测温系统用于许多行业,包括快速热处理 (RTP)、快速热退火 (RTA)、曝光后烘烤 (PEB)、化学气相沉积 (CVD)、物理气相沉积 (PVD)、离子注入、太阳能电池和许多其他热驱动工艺等应用。

技术指标:


名称

12路微型插座测温模块

17x4路DB快接测温模块

型号

618A / TC / MPJ*12

618A / TC / DB17

测温探头类型

K型热电偶

T型热电偶

K型热电偶

T型热电偶

温度测量范围

-270~1372℃

-270~400℃

-270~1372℃

-270~400℃

测量精度

±1.1℃±0.1%读数

±0.6℃±0.1%读数

±1.1℃±0.1%读数

±0.5℃±0.1%读数

测量分辨率

≤0.01

≤0.01

测量通道数量

12个

17*1、17*2、17*3、17*4(可选择、可扩展)

采样频率

≥1Hz/每通道

≥1Hz/每通道

运行/故障指示灯

测温探头接口

MPJ微型热电偶插座

DB37(17CH)

网口

RJ45

RJ45

USB端口

USB Type-B

USB Type-B

RS485端口

接线端子

接线端子

蓝牙

Bluetooth5.0

Bluetooth5.0

通讯协议

Modbus

Modbus

应用软件

DAQ数据采集软件,数据采集、记录、统计分析

DAQ数据采集软件,数据采集、记录、统计分析

功率

≤3W

≤3W

供电电源

AC220V/DC24V(可选择)

AC220V/DC24V(可选择)

电源接口

AC电源插座/DC3*7.62mm接线端子

AC电源插座/DC3*7.62mm接线端子

安装方式

可选35mm标准导轨安装

可选35mm标准导轨安装

模块参考尺寸

188*160*56(L*W*H)

188*160*56(L*W*H)


晶圆有线测温系统测温范围:-50℃至1200℃

热电偶类型:K型

精度:±0.5℃±0.1%读数

线径:0.127、0.254mm

测温点数:1~68个

传感器引线:可定制

工艺:焊接设计

绝缘材料:石英、Teflon、二氧化硅、陶瓷、PA

测温探头接口:DB37、微型插座

晶圆材质:硅片,蓝宝石,碳化硅等(基材形状和尺寸可定制)

晶圆尺寸:50mm,100mm,150mm,200mm,300mm

真空贯通带:聚酰亚胺扁平电缆,大气压可达10-7Torr(长度由客户定)



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产品参数

产地类别 国产
应用领域 环保,生物产业,石油,能源,综合
企业未开通此功能
详询客服 : 0571-87858618
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