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HM3-50 纳米级非接触共焦测厚仪

型号
HM3-50
参数
可测湿膜厚度:2~350um (量程 400um,考虑到样品变形和倾斜以及反射率,实际量程视情况而定) 扫描轴步距:1um 探头采样频率:900 样品/s
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深圳市和兴盛光电有限公司成立于2011年,致力于高精度检测设备的技术研发和销 售。和兴盛是一家以技术研发为导向,以应用光谱共焦技术、激光测量技术、视觉 检测技术为核心,集精密机械、运动控制、处理软件为一体的检测设备集成商。 主要产品:膜厚检测设备、透明胶水检测设备、在线流延膜厚测量设备、微米级 缺陷检测系统等。

详细信息

高精度和高稳定性

☆ 探头分辨率提高到纳米级,有效分辨率22m(0.022um)有扫描轴最小步距 1um,扫描时测量头移动样品不动,减少气流和震动影响高刚性低热膨胀系数花岗石平台和构件,热源隔离设计古

运动系统采用磁悬浮,超精密导轨

控制系统采用光栅尺全闭环反馈控制☆

高取样密度:测量时每截面可达5万个取样点,每毫米 1000点颜色无关和亮度无关的测量方法,抗干扰能力强,环境光影响低古高重复精度(ㄑ0.1um 于标准量块上),人为误差减少

22高速度,探头采样频率静态 2000Hz,动态900Hz

★两点基板倾斜修正功能

☆数字传输:抗干扰,自动纠错,准确度高

高灵活性和适应性

☆ 大样品测量:测量台面尺寸达540x500mm,更大可定制★厚板测量:高达80mm,Z轴可调 35mm,探头可调45mm☆ 微小目标测量:可测量宽度 10um 的目标

★ LED 光源:寿命长

古快速更换被测物:直接摆放被测物,速度快

快速转换程序:自动记录最近程序,一键切换适合多生产线共享

古测量原理受环境、材料影响小,可测量各种类型的浆料测量自动适应基板颜色和反光度,自动修正基板倾斜

统计分析功能强大

☆Xbar-R 均值极差控制图、分布概率直方图平均值、标准差、CPK等常用统计参数按被测产品独立统计,可追溯性品质管理,可记录产品条码或编号,由此追踪到该编号产品当时的印刷、浆料、钢网、刮刀等几乎所有制程工艺参数。规格参数可自主设置

制程优化分类统计,可根据不同印刷参数比如刮刀压力、速度、脱网速度、清洁频率等,不同浆料,不同钢网,不同刮刀进行条件分类统计,且条件可以多选。可方便地根据不同的统计结果寻找稳定的制程参数配置


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产品参数

可测湿膜厚度 2~350um (量程 400um,考虑到样品变形和倾斜以及反射率,实际量程视情况而定)
扫描轴步距 1um
探头采样频率 900 样品/s
企业未开通此功能
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