- 面议
参考价：
起订量：
FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台
该企业相似产品
光学元件、光学仪器、光纤器件、光学成像、光机械
上海攸亦光电科技有限公司是一家专注于光谱技术和应用开发的科技企业，提供紫外，可见，近红外，中红外到太赫兹范围的光电产品，包括光学元件，光学仪器，光谱仪，光学机械，成像系统，以及各种定制产品和服务。为科研院所和企业客户提供专业的应用咨询和产品解决方案。
详细信息
FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台
l行程覆盖50mm、100mm、150mm
l坚固的台身设计
l真空环境使⽤
l免费标准版SDK
产品简介
FMS80V系列真空步进电机高精度通用平移台：在FMS80基础上，我们设计了FMS80V系列真空专⽤位移台。FMS80V广泛适用于真空环境的应⽤中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7 ~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。
产品应用
l激光打靶
l器件调整
l⾼能物理
性能实测
接线定义
电机接⼝
产品图纸
FMS80V-50
FMS80V-100
FMS80V-150
产品参数
Model | FMS80V-50 | FMS80V-100 | FMS80V-150 |
⾏程(mm) | 50 | 100 | 150 |
负载(Kg) | 10 | 10 | 10 |
分辨率(μm) | 0.625 | 0.625 | 0.625 |
最⼩步进量(μm) | 1 | 1 | 1 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±1 | ±1 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±0.5 | ±0.5 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±2 | ±2.5 | ±3 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±1 | ±1.5 |
定位精度/保证值(μm) | ±10 | ±12 | ±15 |
定位精度/典型值(μm) | ±5 | ±6 | ±8 |
最⼤速度(mm/s) | 10 | 10 | 10 |
直线度(μm) | 10 | 12 | 15 |
平整度(μm) | 10 | 12 | 15 |
偏摆 | 20 | 25 | 30 |
俯仰 | 20 | 25 | 30 |
重量(kg) | 4 | 4.4 | 4.8 |
