Sensofar经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪

一、产品概述——紧凑、灵活、强大

Sensofar经济型三维共聚焦白光干涉轮廓仪 是款为工业和研究所设计的全新非接触式3D表面光学轮廓仪，用于工业和科研应用，其设计定位是个紧凑和灵活的系统。它设计简洁、用途多样。光学轮廓仪Slynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌,测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于体，确保了其的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

SENSOFAR公司作为干涉共焦显微镜的发明者，开创性地将共聚焦和干涉技术结合在起，无需插拔任何硬件就可以在软件内自动实现共聚焦、白光干涉和相位差干涉模式的切换。使客户无需花费高昂的费用就能同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪。

SENSOFAR在1999年创立之初，就是以三维表面形貌测量为主要研发方向，通过持续不断地研发和申请利技术，在全球范围内创造了数百种表面形貌测量应用产品，积累了丰富的技术实力。

二、主要应用

半导体晶圆应用、汽车零部件、消费电子、能源、材料表面、微电子、LED、微体古生物学、光学镜片加工、模具加工、钟表制造、腐蚀表面结构、摩擦学表面结构。

三、主要特点及功能

1）  共聚焦

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。利的共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

2） 干涉

白光垂直扫描干涉（VSI）是种广泛用于测量表面特性（如形貌或透明薄膜结构）的功能强大的技术。它适合测量从光滑到适度粗糙的表面，无论物镜的NA或者放大倍数变化，均可以提供纳米的垂直分辨率。

3） 多焦面叠加

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（大86°）。此功能对工件和模具测量特别有用。

4） 真彩色共聚焦图像

每个像素点都能还原真实的色彩，在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明，并将三张单色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法，用这种技术获得的图片色彩保真度和还原性更胜。

四、主要优势：

1） 实时图像    

SENSOSCAN为您呈现的共聚焦实时图像。我们的图像质量和速度进一步提升，在共聚焦照明模式下可达9帧/秒，在明场照明模式下高达30帧/秒。与此同时，还有多种实时图像模式选择。

2） 丰富的参数设定

通过调整参数可优化测量步骤。例如，优化自动对焦设定能够减少测量时间，采用多级的照明和优化扫描范围可观察复杂的3D形貌。优化后的测量参数可存储为单点（SMR）或多点（MMR）程序测量。

3） 一键3D测量  

用户只需找到测量位置 ， 点击3D测量按钮，SensoSCAN的软件将自动调整照明亮度，自动对焦，执行较佳的测量模式，将精准的测量结果于弹指间为您呈现。

4） 交互式的3D和2D视图提供多样的分析      

演示及渲染选项。内置测量软件有测量尺寸，角度，距离，直径，标注特性等功能。因此，SensoSCAN是一款解决各种分析任务的理想软件。您还可选择以下两套高阶软件来完成更复杂的分析SensoMAP和SensoPRO。

5） 进阶分析

更丰富的进阶分析功能可进行数据补偿，形状去除（平面，球形，不规则形状），滤波分析，剪裁和提取轮廓等。用户可生成分析模版保证分析的连续性和一致性。