易度智能MC100系列，是一款极低漂移量气体质量流量控制器，具有极低的温度漂移和压力漂移量，可以确保产品长期使用的稳定性和可靠性，减少维护、调试、校准的频率，降低客户维护成本。

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：提供上位机软件设定流量。

l 核心优势：低漂移量，高稳定性和可靠性，抗气源波动能力强

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示4种过程变量

l 内置60多种气体，自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体

l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。

l 可切换为流量计模式使用

产品规格：

l 产品型号：MC100

l 量程范围：0.5sccm~550slpm

l 阀门种类：N/C（常闭型）

性能参数：

l 精度：±1.0%S.P.(设定值)(20%～100%量程范围)   ±0.2%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)

l 重复精度：±0.2%F.S.

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100kPa(绝压))

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）

l 零点漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范围：1%~100%F.S.

l 响应时间：≤700ms.

l 启动预热时间：1s

使用条件：

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：0~1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 工作压差范围：100kPa~800kPa

l 供电电压：24V±20%

l 消耗电流：＜500mA （＜12V）

l 安装方式：任意角度

l 接气部材质：SUS316L

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

通讯方式：

l 数字信号：RS485，Profibus

l 模拟信号：4-20mA，0-5V

应用场景

l 标定台系统搭建中的流量控制设备

l 需要大范围调整流量的流控系统或设备集成

l 简化集成设备或对设备体积敏感的场景

l 需要调控比较大流量的实验研究场合

MC100低漂移量气体质量流量控制器在于具有高精度的温度和压力传感器，确保产品具有极低的温度和压力漂移量，对于用户来讲，长期使用依然可以保证产品具有很高的准确度和重复性，确保用户整机流量测控的稳定性和可靠性，减少用户维护成本。