易度智能MC100系列，是一款高性能低漂移量气体质量流量控制器，具有极低的温度漂移和压力漂移量，可以确保产品长期使用的稳定性和可靠性，减少维护、调试、校准的频率，降低客户维护成本。

特征：

l 原理：层流压差式原理

l 便捷操作：提供上位机软件设定流量。

l 核心优势：低漂移量，高稳定性和可靠性，抗气源波动能力强

l 宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内

l 实时显示4种过程变量

l 内置60多种气体，自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体

l 无需预热时间，开机即可使用，即插即用。

l 可切换为流量计模式使用

产品规格：

l 产品型号：MC100

l 量程范围：0.5sccm~550slpm

l 阀门种类：N/C（常闭型）

性能参数：

l 精度：±1.0%S.P.(设定值)(20%～100%量程范围)   ±0.2%F.S.(满量程)(1%～10%量程范围)

l 重复精度：±0.2%F.S.

l 压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa；    Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100kPa(绝压))

l 温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃；             Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度25℃）

l 零点漂移：±0.2%F.S./年

l 工作范围：1%~100%F.S.

l 响应时间：≤700ms.

l 启动预热时间：1s

使用条件：

l 介质温度：-20℃~60℃

l 环境温度：-20℃~50℃

l 使用湿度：0%~98%（无冷凝）

l 工作压力：0~1Mpa

l 耐压：1.5Mpa

l 工作压差范围：100kPa~800kPa

l 供电电压：24V±20%

l 消耗电流：＜500mA （＜12V）

l 安装方式：任意角度

l 接气部材质：SUS316L

l 进出口：管螺纹（内螺纹）

l 接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶

通讯方式：

l 数字信号：RS485，Profibus

l 模拟信号：4-20mA，0-5V

应用场景

l 标定台系统搭建中的流量控制设备

l 需要大范围调整流量的流控系统或设备集成

l 简化集成设备或对设备体积敏感的场景

l 需要调控比较大流量的实验研究场合

MC100高性能低漂移量气体质量流量控制器在于具有高精度的温度和压力传感器，确保产品具有极低的温度和压力漂移量，对于用户来讲，长期使用依然可以保证产品具有很高的准确度和重复性，确保用户整机流量测控的稳定性和可靠性，减少用户维护成本。