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PEM050/PPM100 wkfluidhandling高纯度电子计量泵、气动泵
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wkfluidhandling高纯度电子计量泵、气动泵 PEM050/PPM100 特点介绍
PEM050电子步进泵精确地在聚四氟乙烯流体路径中分配1-50毫升的腐蚀性介质,用于化学补充、混合、加药和加注。
这些可靠的泵具有支持的滚动隔膜,最大限度地提高了放电压力能力。
积极的控制阀通过消除典型的止回阀的变化来确保准确性.他们提供多达5个可独立控制可编程系统逻辑的放电端口。
ppm100气动计量泵精确地在聚四氟乙烯流体路径中提供高达100毫升的高纯度化学品。
它与一个支持滚动膜片操作,以最大限度的放电压力能力。两个正控制阀通过消除典型的止回阀的变异性来确保准确性。
wkfluidhandling高纯度电子计量泵、气动泵 PEM050/PPM100 规格参数
于单滤液加工工具或预混容器,以确保精确的化学混合物,并允许直接在头部现场混合。
该泵精确地分配高纯度的化学品,以补充,混合,剂量和加注的应用,以及清洁的简历设备和光刻。
它们非常适合光刻胶、蚀刻和清洁工艺,在食人鱼混合物中添加过氧化物,以及在引入衬底物之前将化学混合物混合到加工槽中。
可调冲程速度
安全、无泄漏操作,无维护
无暴露金属防止腐蚀和污染
超纯应用的全流式流体路径
带PP外壳的聚氯乙烯轧式膜片
视觉位置参考,便于安装和监控
易于安装和使用管理连接/外安装服务
可在任何方向安装
清洁室装配、测试和包装
漏检港
自燃
紧凑的足迹
最小滞留量
正进出口阀门防止通过