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CHIRAD165 晶片级器件、芯片X射线辐照仪
高级会员第12年
生产厂家晶片级器件、芯片X射线辐照仪
用途:该仪器可适用不同种类器件的辐照,适用于器件辐射效应提参建模的试验平台,在器件设计、流片阶段给出加固建议,评估抗辐射性能。为晶片级器件辐照、提参提供试验条件,形成面向抗辐射器件研制全过程的辐射效应试验评估、提参建模共性技术服务平台,为元器件设计加固工艺的发展提供试验技术支撑。
系统参数
1. X射线球管最高电压:160kV
2. 线束角度: 40°
3. 系统最大功率:6000W
4. X射线球管焦点尺寸:5.5 mm
5. 可调整照射距离(SSD):OEM,以最终设计为准
6. 剂量控制:配置实时剂量监控仪,剂量率、累积剂量,辐照时间实时显现。剂量率检测范围最大>600gy/min。
7. 冷却器:集成的闭合回路热交换器
8. 载物台:电动操作
9. 控制:PLC控制
10. 仪器具备门机连锁和警示灯,确保使用安全性。
11. 同轴槽型常高温吸附卡盘(OEM)
12. 卡盘XY位移平台,Z轴快速升降,带微调升降,卡盘可旋转±45°
13. PSM1000显微镜、HDMI接口高清(200万像素)CCD(可选配其他)
14. 显微镜XY位移平台2"*2"
15. 防震桌900mm*800mm(最终尺寸以实际为准)
16. 三轴接口探针座
17. 空气压缩机
18. 可选配高低温同轴卡盘、半自动探针台、干燥空气系统等。