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Crystalline Tester CS1 日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式
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日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式 Crystalline Tester CS1 特点介绍
”Crystalline Tester CS1”是非破坏性、非接触式检测可见光(波长400~800nm)透明性晶体材料中由于残留的缺陷、应力引起的晶格畸变后分布情况的便捷式检测设备。
通过本设备可以实现快速、准确地把握目检下无法看到的晶体晶格畸变的状态。
日本ceramic forum晶片内位错检测仪便携式 Crystalline Tester CS1 规格参数
产品特长 高速测量(6" 衬底 90秒)
・可以最快速度简捷方式观察残留应力分布。
纵向结晶评价
・因为是透视型结晶评价装置,所以不只可以观察衬底表面,还可以观察包括Z轴方向的晶圆所有部位。
可取得与X-Ray Topography imaging comparison同等测试效果
・可以取得同等测试效果,实现高速低成本。
价格竞争力
・在晶片测量装置中,属于性价比好的一款系统。
可测量材料 SiC单晶衬底、及SiC外延衬底
GaN单晶衬底、及GaN外延衬底
AlN单晶衬底、及AlN外延衬底
可视光可透视、有双折射效果的结晶均可。
测试效果不佳材料 ・无可视光透视性材料:Si、GaAs等
・无双折射效果材料:蓝宝石、Ga2O3 等