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红外辐射显微成像系统(微观温度分布成像)

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上海昊量光电设备有限公司

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上海昊量光电设备有限公司  
Aunion Tech Co., Ltd
专业源自专注  专注成就未来

自2008年成立以来,昊量光电专注于光电领域的技术服务与产品经销,致力于引进guo外*先进性与创新性的光电技术与可靠产品,为国内Z前沿的科研与工业领域提供优质的产品与服务,助力中国智造与中国创造! 目前,昊量光电已经与来自美国、欧洲、日本的多家光电产品制造商建立了紧密的合作关系。其代理品牌均处于相关领域的发展前沿,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,所涉足的领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究与国防等。

昊量光电坚持“专业源自专注,专注成就未来”的经营理念。近年来,我们专注于前沿的细分市场,为量子光学、生物显微、物联传感、精密加工、先进激光制造等领域的客户提供系统解决方案。

作为一家以技术沟通与技术服务见长的高科技企业,我们所有的销售与技术服务团队成员都具有理工科方面的专业背景,并在公司接受相关领域的专业培训,在售前技术沟通、售后产品安装培训、产品问题解决、软硬件增值服务等方面为客户提供更加专业化的服务!我们专业高效的商务与物流部门凭借多年积累的贸易经验与规范化的制度流程,保障每一笔订货准时安全到达目的地,免除客户的后顾之忧!

秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观,昊量光电坚持以诚信为基石,凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值,实现各方共赢!

立足于光电产业,昊量光电始终坚持价值创造与创新,赢得客户与合作伙伴的认可,不断拓展业务领域的新边疆,立志打造的代理服务品牌!

 

详细信息

红外辐射显微成像系统(微观温度分布成像)


IRLabs的IREM-IV红外显微镜系统使您能够更快、更准确、更可靠地进行半导体故障分析和调试。


IREM-IV相机提供超低噪声扩展波长PEM成像,在工作电压为400 mV的10 nm设备上具有经验证的发射成像灵敏度。自行设计和制造的相机,用于低维护操作,,包括6位透镜转盘和超过20小时的LN2持续制冷时间。光学扩展端口为外部激光扫描OBIRCH、LADA、TIVA和其他成像模式提供了升级路径。


3.3NA SIL物镜是定制设计的透镜家族中的新产品,经过优化,可在整个视场上提供衍射限制成像。自对准SIL可自动调平,以符合被测设备的局部轮廓。弯曲设计提供了低的接触力,因此适用于成像安装器件或裸晶圆。


集成轮廓传感器,测量器件表面轮廓,高度分辨率优于10 um。使用与精密x-y-z平台集成的倾斜台,可以直接测量和补偿从翻转边缘或器件弯曲产生的局部表面倾斜。跟自对准SIL相结合,以实现安全可靠的SIL成像。


扩展波长PEM成像通常是热背景噪声受限的。IREM-IV提供两个内部冷却的滤光轮,因此光谱滤光器或背景限制孔径适用于任何测量场景。


红外辐射显微成像系统(微观温度分布成像)指标参数:


相机                                                                                                       运动系统


●   1016×1016 液氮制冷MCT阵列                                                          ●   25nm分辨率

●   像元尺寸 18um                                                                                 ●   100mm运动范围 (X-Y-Z)

●   400-2500nm 光谱响应范围                                                               ●    阻尼振动隔离

●   6个位置自动物镜转盘                                                                         ●    电动样品倾斜选项

●   6个位置制冷滤光片/孔径转轮

●   大于20小时液氮维持时间


系统尺寸


●   显微镜   810mm x 876mm x 813mm, 160kg

●   控制系统  610mm x 1283mm x 762mm,90kg


物镜选项:

参考图例


**详细技术参数可参考Datasheet或咨询上海昊量光电设备有限公司。


更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

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上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

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