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CR288型 美国Entegris高性能液体浓度计化学机械抛光
- 型号
- CR288型
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深圳市秋山贸易有限公司是一家从事从事机电设备咨询,科学仪器咨询,机械加工设备咨询等业务的公司，成立于2017年06月16日，一般经营项目是：从事机电设备、电子能源相关设备、食品加工机械设备、粉体制造设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、光电产品、检测仪器的销售及技术咨询；橡塑制品、金属制品、化工产品（危险品除外）的销售；经营电子商务；国内贸易，货物及技术进出口（法律、行政法规、决定规定在登记前须经批准的项目除外）。
详细信息
美国Entegris高性能液体浓度计化学机械抛光 Entegris CR288型 特点介绍
折反射方法提供的准确性和响应时间
低成本、高性能浓度计使您能够监控 BEOL、FEOL 和子晶圆厂中的化学配方和输送系统，以提高工艺效率。
随附的 288 Connect 软件可在几分钟内完成现场校准，从而降低拥有成本
紧凑的设计允许在化学管道中在线安装
利用Inview CR288液体浓度计的在线实时折射率测量技术，可以在以下测量点（最多4个位置）监测化学溶液。
清洁 BEOL 和 FEOL
化学机械抛光
电镀
光刻法等
美国Entegris高性能液体浓度计化学机械抛光 Entegris CR288型 规格参数
传感器部分： 流通池 改性聚四氟乙烯*
湿透的窗户 半导体级蓝宝石*
电缆连接器 聚丙烯/聚偏氟乙烯
引擎盖 聚丙烯
安装板 聚偏氟乙烯
传感器使用条件： 流体压力 0 - 0.55 兆帕
流体温度 5°C - 50°C
流体折射角 1.28000 至 1.40000 **
直达： 电源 24 VDC (± 5%), 0.5 A 或以上
电源（使用适配器时） 110/240VAC，50/60±3Hz
串行端口 RS-232
模拟输出 4 - 20 mA（温度和浓度），每个 DDU 最多 4 个传感器
