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SEMPREP SMART 离子研磨仪 SEM样品制备
- 型号
- SEMPREP SMART
复纳科学仪器（上海）有限公司（简称“复纳科技”）于 2012 年在上海成立，聚焦荷兰飞纳台式扫描电镜在中国市场的推广和应用，涵盖领域包括材料、锂电新能源、半导体、生命科学和法医检测等。
截止目前，复纳科技服务超过 2000 家飞纳电镜客户和 100 家相关产品客户，包括：清华大学、北京大学、复旦大学、上海交通大学、华南理工大学和中科院系统等高校科研单位；巴斯夫、宁德时代、微软、默克和出入境检验局等企事业单位。
2017 年开始，复纳科技陆续与 7 家行业品牌建立了长期合作，致力于为中国高校、研究所、企业和政府用户提供先进可靠、高效智能的科学分析仪器、优质专业的服务和基于核心技术的解决方案。目前已引进先进的：DENSsolutions TEM原位样品杆，飞纳台式扫描电镜，NEOSCAN台式高分辨显微 CT，ForgeNano原子层沉积、 Technoorg Linda SEM/TEM样品制备和VSParticle 纳米气溶胶沉积等设备。
十年以来，复纳科技赋能中国科研创新、工业升级，人工智能检测的使命也越来越清晰。
详细信息
SEMPREP SMART 离子研磨仪 SEM样品制备
SEMPREP SMART离子研磨仪配备了高能量和可选的低能量氩离子枪。这款设备是用于扫描电子显微镜(SEM)和电子背散射衍射(EBSD)样品的最终加工和清洁的理想选择。离子加工可以改进和清洁机械抛光的 SEM 样品并为 EBSD 分析制备无损表面。该设备还适用于快速截面加工。为您制备高精度和高质量的样品，例如在半导体测试或锂离子电池隔膜的截面检查中均能实现出色的效果。
离子研磨仪 SEM样品制备主要特点：
• 先进的离子枪设计和自动化功能
• 新型用户友好操作软件:为用户提供智能辅助
• 更精确的针阀:允许对气流进行精细调整
• 高精度可调性:用于精细调节操作
• 更长寿命高真空传感器
产品功能：
• 可选低能枪（LEG）
• 可选的新型 LN2 冷却系统
• 可选真空转移装置 (VTU)，用于在真空条件下取出样品
• 独立的对位样品台：在进行 90° 加工时用于精确样品定位
技术参数：
离子枪：
超高能量离子枪，最高可达 16 keV
样品尺寸
截面样品台（可选 30°、90°样品台）：
• 30°样品台：最大尺寸16.4mm (长) x 16mm (宽) x 3.1mm (厚)
• 90°样品台：最大尺寸18.6mm (长) x 16mm (宽) x 6mm (厚)
用于表面加工（EBSD）的平面样品台，配有三种不同的头部类型
• 平头型：最大直径 50mm x 4mm
• 标准型：最大直径 32mm x 15mm
• 空心型：最大直径 25mm x 23mm
样品台移动
• 样品倾斜角度：0° 至 30°，每 0.1° 连续可调
• 样品旋转角度调节：360 可变速样品旋转，角度速度可调
• 样品加工摆角（摇摆）：±10° 至 ±120°，每 5° 连续可调
样品冷却（可选）
液氮冷却或 Peltier 冷却
真空系统
无油隔膜泵和分子泵
气体供应系统
纯度为 99.999% 的氩气工作气体，高精度针阀流量控制
分子泵
HiPace 80 Neo.
成像系统
500万像素CMOS相机，具有图像内的测量功能
计算机控制
易于使用的图形界面，自动化离子枪操作和样品台 位置校准
使用氩离子束进行加工
