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PF-F系列 日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置
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日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置 PF-F系列 特点介绍
脱气膜采用PTFE,接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。
可用于在半导体、LCD制造过程中使用液体的脱气、除泡(各种抗蚀剂、稀释剂、化学制剂等)
溶剂型喷墨墨水的脱气
日本DIC用于半导体/化学制剂等脱气装置 PF-F系列 规格参数
PFF的脱气原理是使用四氟化乙烯树脂(PTFE)制的管状透气膜除去溶解在液体中的气体。
具体如下图所示,将管外侧设为真空,通过管内外气体的压差从管内流动液体中去除溶解气体。
PF-F series
脱气膜采用PTFE,接触液体部全部为氟树脂制的脱气模组。可进行酸、碱、有机溶剂等液体的脱气。
型号流量尺寸耐圧最高使用温度连接连接
mL/minmmMPa℃(液体入口/液体出口)真空口
PF-3T-S-F 1-20 29×58×86 0.2 40 4×2 tube 4×2 tube
PF-03F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-05F 1 - 100 102φ×180 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-10F 1 - 200 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-13F 1 - 300 102φ×260 0.294 40 1/4 Super pillar Rc 1/8
PF-28F 1 - 500 102φ×440 0.294 40 3/8 Super pillar Rc 1/8